[实用新型]可分离式坩埚熔融机炉体

说明书

本实用新型提供可分离式坩埚熔融机炉体，包括炉身以及炉盖，炉身包括四个从下至上顺序连接筒体，四个筒体的上下两端均开口，位于最下方的筒体的底部安装有用于与支撑平台相连进行下端封口的密封圈，且相邻筒体的连接处设有一橡胶密封圈；四个筒体中最上方的筒体与炉盖通过螺钉可拆卸连接，且四个筒体中最上方的筒体与炉盖的连接处设有一橡胶密封圈；四个筒体从下至上依次为模具安装筒、隔热筒、过渡筒以及加热器安装筒。本专利为分体化可分离式结构，便于运输的同时，还可以实现部件的单独维修以及更换，通过各个筒体以及炉盖之间的密封连接，便于整个炉腔内部的密封效果，保证烧结质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体涉及坩埚熔融机。

背景技术

炉体是坩埚熔融机的主要部件之一。

现有的坩埚熔融机的炉体包括炉身以及设置在炉身上的门体，炉身和门体之间的密封效果差，坩埚烧制过程中易受污染。而且现有的炉身不可拆卸，往往为一体化结构，不便于运输。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供可分离式坩埚熔融机炉体，以解决以上至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：可分离式坩埚熔融机炉体，包括炉身以及炉盖，其特征在于，所述炉身包括四个从下至上顺序连接筒体，四个筒体的上下两端均开口，位于最下方的筒体的底部安装有用于与支撑平台相连进行下端封口的密封圈；

四个筒体中相邻的筒体通过相互配合的定位销以及定位孔进行定位，相邻的筒体通过螺钉可拆卸连接，且相邻筒体的连接处设有一橡胶密封圈；

四个筒体中最上方的筒体与炉盖通过螺钉可拆卸连接，且四个筒体中最上方的筒体与炉盖的连接处设有一橡胶密封圈；

四个筒体从下至上依次为模具安装筒、隔热筒、过渡筒以及加热器安装筒；

所述模具安装筒用于安装坩埚模具；

所述隔热筒的内壁焊接固定有支撑隔热板的隔热板安装台，所述隔热板安装台呈环状；

所述过渡筒的顶部设有径向向外延伸的环状平台，所述环状平台用于支撑所述加热器安装筒，所述环状平台为所述过渡筒与所述加热器安装筒的连接处；

四个筒体以及炉盖均为双层结构，且双层结构内设有水冷通道。

本专利通过优化传统一体化设计的炉身，改良为分体化可分离式结构，便于运输的同时，还可以实现部件的单独维修以及更换，通过各个筒体以及炉盖之间的密封连接，便于整个炉腔内部的密封效果，保证烧结质量。四个筒体以及炉盖均设有独立的水冷通道，可分别进行水冷控制，保证水冷效果。

进一步优选的，所述筒体包括内层以及外层，所述内层以及所述外层围成一空腔；

所述筒体还包括螺旋状导流板，所述螺旋状导流板径向上的两侧分别与所述内层和外层焊接相连，所述螺旋状导流板分隔所述空腔构成所述水冷通道；

所述外层上开设有一进水口以及出水口，所述进水口以及所述出水口分别与水冷通道的两端对接导通，所述进水口位于所述外层的下端部，所述出水口位于所述外层的上端部。

便于实现水冷通道从下至上螺旋上升，保证水冷效果。

进一步优选的，所述外层为SUS316L，所述外层为SUS304L。

进一步优选的，四个筒体上均设有用于穿过热电偶的刚玉管的测温孔，所述测温孔与所述热电偶的刚玉管之间通过隔热材料密封。

便于实现四个筒体的测温。

进一步优选的，所述隔热筒的侧壁上开设有至少一个视窗孔，每个视窗孔上安装有透明石英制成的透明视窗。