[实用新型]可分离式坩埚熔融机炉体有效
申请号: | 201920840601.1 | 申请日: | 2019-06-05 |
公开(公告)号: | CN210486472U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 徐淑文;贺贤汉;夏孝平;赖章田;曹豪杰 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;F27B14/20;F27D9/00 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 龚敏 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可分离 坩埚 熔融 机炉体 | ||
1.可分离式坩埚熔融机炉体,包括炉身以及炉盖,其特征在于,所述炉身包括四个从下至上顺序连接筒体,四个筒体的上下两端均开口,位于最下方的筒体的底部安装有用于与支撑平台相连进行下端封口的密封圈;
四个筒体中相邻的筒体通过相互配合的定位销以及定位孔进行定位,相邻的筒体通过螺钉可拆卸连接,且相邻筒体的连接处设有一橡胶密封圈;
四个筒体中最上方的筒体与炉盖通过螺钉可拆卸连接,且四个筒体中最上方的筒体与炉盖的连接处设有一橡胶密封圈;
四个筒体从下至上依次为模具安装筒、隔热筒、过渡筒以及加热器安装筒;
所述模具安装筒用于安装坩埚模具;
所述隔热筒的内壁焊接固定有支撑隔热板的隔热板安装台,所述隔热板安装台呈环状;
所述过渡筒的顶部设有径向向外延伸的环状平台,所述环状平台用于支撑所述加热器安装筒,所述环状平台为所述过渡筒与所述加热器安装筒的连接处;
四个筒体以及炉盖均为双层结构,且双层结构内设有水冷通道。
2.根据权利要求1所述的可分离式坩埚熔融机炉体,其特征在于:所述筒体包括内层以及外层,所述内层以及所述外层围成一空腔;
所述筒体还包括螺旋状导流板,所述螺旋状导流板与所述内层焊接相连,所述螺旋状导流板分隔所述空腔构成所述水冷通道;
所述外层上开设有一进水口以及出水口,所述进水口以及所述出水口分别与水冷通道的两端对接导通,所述进水口位于所述外层的下端部,所述出水口位于所述外层的上端部。
3.根据权利要求2所述的可分离式坩埚熔融机炉体,其特征在于:所述外层为SUS316L,所述外层为SUS304L。
4.根据权利要求1所述的可分离式坩埚熔融机炉体,其特征在于:四个筒体上均设有用于穿过热电偶的刚玉管的测温孔,所述测温孔与所述热电偶的刚玉管之间通过隔热材料密封。
5.根据权利要求1所述的可分离式坩埚熔融机炉体,其特征在于:所述加热器安装筒的筒壁上开设有用于导入气体的气体进气口。
6.根据权利要求1所述的可分离式坩埚熔融机炉体,其特征在于:所述过渡筒的筒壁与所述隔热筒的筒壁上均开设有至少一个视窗孔,每个视窗孔上安装有透明石英制成的透明视窗。
7.根据权利要求5所述的可分离式坩埚熔融机炉体,其特征在于:所述模具安装筒的侧壁上开设有用于排气孔。
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