[实用新型]一种光刻机的取片装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板，且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接，滑板的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板，第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板，其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴。本实用新型能够对不同大小的基片进行自动夹持取片，提高了实用性，而且能够对基片进行送出，提高了便捷性。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机的取片装置。

背景技术

现有的光刻机进行取片时，机器进行取片时，只能对固定大小的基片进行取出，无法对不同大小的基片进行取出，降低了实用性，为此，我们提出了一种光刻机的取片装置。

实用新型内容

本实用新型提出的一种光刻机的取片装置，解决了现有的光刻机进行取片时，机器进行取片时，只能对固定大小的基片进行取出，无法对不同大小的基片进行取出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种光刻机的取片装置，包括第一支撑板，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板，且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接，所述滑板的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板，第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板，其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离步进电机的一端与另一个所述固定板侧壁转动连接，所述转轴的外侧壁开设有反向设置的螺纹，所述第三支撑板的底端侧壁滑动连接有对称设置的移动板，移动板上开设有左右贯穿的螺纹孔，且转轴的一端穿过螺纹孔。

优选的，所述移动板相互靠近的一侧侧壁开设有凹槽，凹槽的一侧侧壁连接有压力传感器，所述凹槽的两侧侧壁之间滑动连接有调节板，调节板远离压力传感器的一侧侧壁固定有压板。

优选的，所述调节板远离压板的一侧侧壁安装有与凹槽侧壁固定有复位弹簧。

优选的，所述滑板的底端一侧固定有推杆电机，推杆电机的输出轴与滑块侧壁固定。

优选的，所述第一支撑板的一侧侧壁底部固定有控制箱，控制箱的底部固定有红外线传感器，所述控制箱的内部设置有单片机，单片机的输入端连接有红外线传感器以及压力传感器，所述单片机的输出端连接有气缸、步进电机以及推杆电机。

本实用新型中

1：通过设置的红外线传感器、步进电机、转轴、移动板、压板、调节板、控制箱以及压力传感器之间的配合，能够对不同大小的基片进行自动夹持取片，提高了实用性；

2：通过设置的气缸、滑板、推杆电机以及滑块之间的配合，能够对基片进行送出，提高了便捷性；

本实用新型能够对不同大小的基片进行自动夹持取片，提高了实用性，而且能够对基片进行送出，提高了便捷性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种光刻机的取片装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种光刻机的取片装置的A部分放大结构示意图。

图中标号：1第一支撑板、2第二支撑板、3气缸、4滑板、5滑块、6推杆电机、7第三支撑板、8固定板、9步进电机、10转轴、11移动板、12凹槽、13压力传感器、14调节板、15压板、16复位弹簧、17控制箱、18红外线传感器。

具体实施方式