[实用新型]对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统有效
| 申请号： | 201920717862.4 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN209804582U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈六彪;王俊杰;崔晨;顾开选;郭嘉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;F25B9/14 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苗青盛;魏雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制冷机 对置式 样品台 真空腔体 压缩机 制冷系统 扫描电子显微镜 本实用新型 压缩机驱动 柔性连接 真空腔 体内 电子显微镜样品 分离设置 冷却技术 温度要求 样品测量 减小 冷量 冷头 制冷 传递 外部 | ||
1.一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，包括第一真空腔体及第二真空腔体，其特征在于，还包括对置式压缩机、制冷机及样品台，所述制冷机位于所述第一真空腔体内，所述样品台位于所述第二真空腔体内，所述对置式压缩机位于第一真空腔体外并与所述制冷机柔性连接，所述制冷机的冷头与所述样品台相连。
2.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述对置式压缩机安装在第一基座上，所述第一基座下方安装有第一减振单元。
3.根据权利要求1或2所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机和所述第二真空腔体安装于第二基座，所述第二基座下方安装第二减振单元。
4.根据权利要求3所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机的热端与所述第二基座硬连接。
5.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机为脉冲管制冷机。
6.根据权利要求1或5所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机的冷端与所述样品台之间通过柔性管道连接。
7.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一真空腔体与所述第二真空腔体相连通。
8.根据权利要求7所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一真空腔体与所述第二真空腔体的真空度分别为0Pa～105Pa。
9.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述对置式压缩机包括第一活塞和第二活塞，所述第一活塞与所述第二活塞相向运动。
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