[实用新型]溅射台托盘对准转移装置

说明书

本实用新型涉及一种溅射台托盘对准转移装置，其包括夹具操作装置、溅射台托盘以及能对准夹具；在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出。本实用新型结构紧凑，能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种对准转移装置，尤其是一种溅射台托盘对准转移装置，属于微纳米加工的技术领域。

背景技术

在微纳米技术领域，经常要用到微结构溅射工艺。目前，在进行建设工艺时，将对准好的衬底与掩膜板在侧边用胶粘起来，但是这种方式有时会对衬底造成污染，还有可能沾污溅射台真空腔室。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种。溅射台托盘对准转移装置，其结构紧凑，能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述溅射台托盘对准转移装置，包括夹具操作装置、能置于所述夹具操作装置内的溅射台托盘以及能套置在所述溅射台托盘上的对准夹具；

在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，所述夹爪压紧机构包括压紧夹爪以及能控制压紧夹爪压紧状态的夹爪状态控制机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；

在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出。

所述夹具操作装置包括夹具拆装底盘以及位于所述夹具拆装底盘正上方的夹具拆装面板，所述夹具拆装面板通过铰链与夹具拆装底盘连接，在夹具拆装底盘上还设置能对夹具拆装面板进行支撑的面板定位柱；

在夹具拆装底盘的中心区设置转移托盘支撑板，在转移托盘支撑板上设置若干能与溅射台托盘适配的转移托盘定位销，在转移托盘支撑板的外圈设置若干能与对准夹具适配的夹具定位销。

所述溅射台托盘包括托盘体以及若干设置于托盘体内的托盘体定位孔，托盘体通过托盘体定位孔与转移托盘定位销配合能置于转移托盘支撑板上，托盘体上还设置若干能与对准夹具适配的托盘定位缺口。

所述弹性压紧机构包括能相对托盘体运动的弹性压杆以及设置于弹性压杆上的托盘压板，托盘压板位于托盘体的上方且所述托盘压板与托盘体相互平行；

弹性压杆的下部位于托盘体内的弹性体放置槽内，弹性体放置槽内设置套在弹性压杆上的压杆弹性体，弹性压杆位于弹性体放置槽的端部设置用于支撑压杆弹性体的弹性挡片。

所述对准夹具包括夹具体以及位于所述夹具体中心区的夹具体通孔，夹具体通孔贯通夹具体且夹具体通孔与托盘体适配，夹具体通过夹具体通孔能套置在托盘体上，夹具体套置在托盘体上后，夹具体与托盘体呈同轴分布；

在夹具体上还设置与压紧夹爪对应的对准支撑块，所述对准支撑块能置于托盘体上的托盘定位缺口内。

所述夹爪状态控制机构包括与压紧夹爪适配连接的压爪连接机构以及与所述压爪连接机构适配的状态操作机构，所述压爪连接机构设置于夹具体上，状态操作机构设置于夹具拆装面板上，通过状态操作机构与压爪连接机构配合能控制压紧夹爪对衬底、掩膜板的压紧状态；