[实用新型]一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管

权利要求书

1.一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于，其包括：

管体(1)，所述管体(1)包括衬底层(10)，所述衬底层(10)上从下至上依次设有缓冲层(11)、吸收层(12)、过渡层(13)、电荷层(14)和无掺杂倍增层(15)，所述无掺杂倍增层(15)上设有光接收口(16)；

菲涅尔透镜(2)，所述菲涅尔透镜(2)贴设于所述衬底层(10)的底部，所述菲涅尔透镜(2)用于接收光信号并将所述光信号汇聚至所述光接收口(16)上；

金属反射层(3)，所述金属反射层(3)覆盖于所述菲涅尔透镜(2)远离所述衬底层(10)的一面上，且所述金属反射层(3)至少部分延伸至所述衬底层(10)上。

2.如权利要求1所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述金属反射层(3)为金属银材料。

3.如权利要求1所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述菲涅尔透镜(2)的中心与所述衬底层(10)的中心对齐设置。

4.如权利要求3所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述菲涅尔透镜(2)与衬底层(10)相互接触的两个面的面积比值为0.7。

5.如权利要求1所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述菲涅尔透镜(2)为磷化铟InP材料。

6.如权利要求1所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述光接收口(16)的两侧设有P极和N极，所述P极和N极上均镀有金属电极。

7.如权利要求1所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述光接收口(16)的下方设有锌扩散层(4)。

8.如权利要求7所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述锌扩散层(4)的扩散浓度为2×10¹⁸～5×10¹⁸cm^-3，所述锌扩散层(4)的扩散深度为2～3μm。

9.如权利要求1所述的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，其特征在于：所述衬底层(10)为n型衬底。