[实用新型]一种真空薄膜卷对卷表面处理机

权利要求书

1.一种真空薄膜卷对卷表面处理机，其特征在于：包括一机壳，机壳内部具有一个密闭真空室，密闭真空室内设置有卷料、卷对卷部件、反应极板以及上料牵引部件，卷料通过卷对卷部件进行卷绕输送，机壳的外部安装有真空泵，且设置有一个气体输入口，反应气体经过气体输入口输送进入到密封真空室内，反应极板的正负极端连接等离子电源结合反应气体产出等离子体对卷料进行表面处理，真空泵、卷对卷部件、等离子电源均受控于系统主机。

2.如权利要求1所述的真空薄膜卷对卷表面处理机，其特征在于：所述反应极板内均设置有一个冷水通道，其一端连接冷水水源，另一端排出至回水端，各反应极板首尾相接，其进水口以及出水口分别伸出于机壳的外部，各反应极板的主体部位于密闭真空室内。

3.如权利要求1所述的真空薄膜卷对卷表面处理机，其特征在于：所述卷对卷部件包括一卷出辊、卷绕辊以及导辊，导辊设置于上料牵引部件的顶部，待处理的卷状料装入于卷出辊上，卷状材料端头部分固定到上料牵引部件上，通过驱动牵引杆并沿导辊外部行进，卷状材料绕到导辊上，到卷绕辊位置固定好，完成卷状材料上料。

4.如权利要求1所述的真空薄膜卷对卷表面处理机，其特征在于：所述上料牵引部件包括一根以上的牵引杆，卷状材料的端头部分固定到牵引杆上，通过驱动牵引杆并沿导辊外部行进。