[实用新型]一种用于SiC晶体生长的装炉定位工具

权利要求书

1.一种用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：包括定位环外圈(1)，所述定位环外圈(1)上固定有若干个定位机构，所述定位机构包括石墨螺杆(4)、固定套筒(5)、伸缩件(3)和定位环内圈(2)，所述定位环外圈(1)上开设有若干个通孔(19)，所述固定套筒(5)安装在定位环外圈(1)外表面上，所述固定套筒(5)内表面上设置有螺纹，所述石墨螺杆(4)与所述固定套筒(5)螺纹连接，所述定位环内圈(2)与所述定位环外圈(1)通过伸缩件(3)固定连接，所述石墨螺杆(4)包括端部(6)和螺杆部(7)，所述端部(6)与螺杆部(7)固定连接，所述端部(6)固定有可伸缩刻度尺(11)，所述可伸缩刻度尺(11)的另一端固定在固定套筒(5)上。

2.根据权利要求1所述的用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：所述螺杆部(7)上开设有若干个第一凹槽(8)，所述第一凹槽(8)内安装有弹性组件(9)，所述弹性组件(9)上固定安装有橡胶块(10)，相邻第一凹槽间的刻度相同。

3.根据权利要求2所述的用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：所述第一凹槽(8)与所述刻度尺(11)间隔设置。

4.根据权利要求2所述的用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：所述橡胶块(10)的前端为圆弧状。

5.根据权利要求1所述的用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：所述定位环内圈(2)上固定有若干个防滑凸起(12)。

6.根据权利要求1所述的用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：所述石墨螺杆(4)的底部与所述定位环内圈(2)的外表面相接触。

7.根据权利要求2所述的用于SiC晶体生长的装炉定位工具，其特征在于：所述伸缩件(3)和弹性组件(9)为弹簧。