[实用新型]一种晶圆激光划片装置

权利要求书

1.一种晶圆激光划片装置，包括机架(1)，其特征是所述机架(1)上固定设置有用于晶圆划片的激光装置(2)、用于承载待加工晶圆且可进行位置移动的载物装置(3)、用于辅助将晶圆进行自动定位的影像拾取装置(4)、控制器(5)，所述激光装置(2)、载物装置(3)、影像拾取装置(4)均与控制器(5)连接，所述载物装置(3)包括固定在机架(1)上的移动机构(31)、与移动机构(31)传动连接的过渡盘(32)、与过渡盘(32)固定的玻璃真空吸盘(33)，所述玻璃真空吸盘(33)的上表面设有多个同心的环形槽(34)，所述环形槽(34)上设连接部分或全部环形槽(34)的条形槽(35)，所述条形槽(35)设两个以上且均匀分布在环形槽(34)上，所述环形槽(34)、条形槽(35)的底部均设通气孔一(36)。

2.如权利要求1所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述激光装置(2)包括固定在机架(1)上的激光器(21)、固定在机架(1)上且与激光器(21)成夹角的第一镜片(22)、固定在机架(1)上且能在上下方向上调节的调焦机构(23)、固定在调焦机构(23)上的激光聚焦镜(24)，所述激光聚焦镜(24)朝向玻璃真空吸盘(33)。

3.如权利要求1所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述影像拾取装置(4)包括固定在机架(1)上且面朝向玻璃真空吸盘(33)的上方成像机构(41)、固定在机架(1)上且位于玻璃真空吸盘(33)下方的下方成像机构(42)。

4.如权利要求3所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述上方成像机构(41)包括固定在机架(1)上的上部相机(411)、固定在机架(1)上且设置在上部相机(411)下侧的第一镜头(412)、固定在机架(1)上且设置在激光装置(2)下侧的第一环形灯(413)，所述上部相机(411)与第一镜头(412)相连接。

5.如权利要求3所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述下方成像机构(42)包括固定在机架(1)上的下部相机(421)、固定在机架(1)上且设置在下部相机(421)侧面的第二镜头(422)、固定在机架(1)上且与第二镜头(422)成夹角的第二镜片(423)、固定在机架(1)上且设置在玻璃真空吸盘(33)下侧的第二环形灯(424)，所述下部相机(421)与第二镜头(422)相连接。

6.如权利要求1所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述移动机构(31)包括旋转平台(311)、X轴移动机构(312)、Y轴移动机构(313)，所述旋转平台(311)与X轴移动机构(312)传动连接，所述X轴移动机构(312)与Y轴移动机构(313)传动连接，所述过渡盘(32)与旋转平台(311)传动连接，所述Y轴移动机构(313)固定在机架(1)上。

7.如权利要求1所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述机架(1)包括上层柜(11)和下层电箱(12)，所述激光装置(2)、载物装置(3)、影像拾取装置(4)、控制器(5)均固定在上层柜(11)内，所述激光装置(2)、载物装置(3)、影像拾取装置(4)、控制器(5)均与电箱(12)连接，所述上层柜(11)的正面设第一窗口(111)，所述第一窗口(111)上安装有可左右推动的激光遮挡板(112)，所述上层柜(11)的两侧分别设第二窗口(118)、第三窗口(113)，所述第二窗口(118)、第三窗口(113)分别安装有第一柜门(114)、第二柜门(115)，所述上层柜(11)的正面外侧设托架(116)，所述上层柜(11)的内侧设线槽(117)。

8.如权利要求1所述一种晶圆激光划片装置，其特征是所述机架(1)的侧面设用于自动上料、自动取料的机械装置(6)，所述机械装置(6)设可运行至载物装置(3)上侧的机械手(61)，所述机械装置(6)与控制器(5)连接。