[实用新型]一种翘板结构的RF MEMS接触式开关

说明书

本实用新型涉及一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，包括有衬底，衬底上分布有微波传输线，微波传输线两侧分布有地结构，地结构内开设有驱动电极收纳槽，驱动电极收纳槽内设置有两两镜像分布的四个开关驱动电极，微波传输线上平行架设有悬臂梁，悬臂梁左右两侧对称设置有翘板组件，构成“T”型金属膜桥，微波传输线与悬臂梁之间有金属锚点连接，翘板组件的位置与电极收纳槽相对应，翘板组件的底部与衬底之间设置有支点构造。由此，采用翘板式结构，具有双稳态，开关可靠性更高。“ON”转“OFF”态时，由于有驱动力和悬臂梁自身回复力的双重作用，响应时间更快。在“OFF”态时，金属膜桥与地接触，使得开关隔离度更高。

技术领域

本实用新型涉及一种接触开关，尤其涉及一种翘板结构的RF MEMS接触式开关。

背景技术

射频开关作为通信器件的基本结构单元，在通信系统中有着举足轻重的地位。RFMEMS开关是利用MEMS技术制作的一种射频开关，通过微机械结构的运动，来达到控制信号的通与断的目的，且相较传统射频半导体开关具有插损低，隔离度高以及使用寿命长的优点。

目前RF MEMS接触式开关一般为单稳态结构，即“ON”态为有驱动电压的稳态，“OFF”态为没有驱动电压的非稳态；另外，传统RF MEMS接触式开关在 30GHz以上的频段隔离度普遍较差。有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种翘板结构的RF MEMS 接触式开关。

本实用新型的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，包括有衬底，其中：所述衬底上分布有微波传输线，所述微波传输线两侧分布有地结构，所述地结构内开设有驱动电极收纳槽，所述驱动电极收纳槽内设置有两两镜像分布的四个开关驱动电极，所述微波传输线上平行架设有悬臂梁，所述悬臂梁左右两侧对称设置有翘板组件，构成“T”型金属膜桥，所述微波传输线与悬臂梁之间有金属锚点连接，所述翘板组件的位置与电极收纳槽相对应，所述翘板组件的底部与衬底之间设置有支点构造。

进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述四个开关驱动电极中，接近微波传输线的一对驱动电极为“ON”态驱动电极，远离微波传输线的一对驱动电极为“OFF”态驱动电极。

更进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述“OFF”态驱动电极处设置有接地触点。

更进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述开关驱动电极包括有位于底层的金属基板，所述金属基板上叠加有介质层。

更进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述翘板组件为带孔翘板，分布有均匀的孔状结构。

更进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述微波传输线为共面波导，或是为微带线。

更进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述衬底为高阻硅衬底；或是为玻璃衬底(石英衬底)；或是为陶瓷衬底；或是为砷化镓衬底。

再进一步地，上述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其中，所述支点构造为绝缘锚点。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、采用翘板式结构，具有双稳态，开关可靠性更高。

2、“ON”转“OFF”态时，由于有驱动力和悬臂梁自身回复力的双重作用，响应时间更短。

3、在“OFF”态时，金属膜桥与地接触，使得开关隔离度更高。

4、微波传输线正下方没有驱动电极，可减少信号泄漏，降低插入损耗。