[实用新型]一种翘板结构的RF MEMS接触式开关

权利要求书

1.一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，包括有衬底，其特征在于：所述衬底上分布有微波传输线，所述微波传输线两侧分布有地结构，所述地结构内开设有驱动电极收纳槽，所述驱动电极收纳槽内设置有两两镜像分布的四个开关驱动电极，所述微波传输线上平行架设有悬臂梁，所述悬臂梁左右两侧对称设置有翘板组件，构成“T”型金属膜桥，所述微波传输线与悬臂梁之间有金属锚点连接，所述翘板组件的位置与电极收纳槽相对应，所述翘板组件的底部与衬底之间设置有支点构造。

2.根据权利要求1所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述四个开关驱动电极中，接近微波传输线的一对驱动电极为“ON”态驱动电极，远离微波传输线的一对驱动电极为“OFF”态驱动电极。

3.根据权利要求2所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述“OFF”态驱动电极处设置有接地触点。

4.根据权利要求1所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述开关驱动电极包括有位于底层的金属基板，所述金属基板上叠加有介质层。

5.根据权利要求1所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述翘板组件为带孔翘板，分布有均匀的孔状结构。

6.根据权利要求1所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述微波传输线为共面波导，或是为微带线。

7.根据权利要求1所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述衬底为高阻硅衬底；或是为玻璃衬底；或是为陶瓷衬底；或是为砷化镓衬底。

8.根据权利要求1所述的一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，其特征在于：所述支点构造为绝缘锚点。