[实用新型]一种高精密可调节电驱动微量泵

说明书

本实用新型公开了一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体、隔膜、微流体芯片和双晶硅膜，所述微量泵泵体的右侧设有ER流体入口，所述ER流体入口的内部设有第一单向阀，所述第一单向阀的左端连接有微流体通道，且微流体通道的上部设有隔膜，所述隔膜的左侧通过微流体通道与第二单向阀连接，所述隔膜的上部设有微流体芯片，所述微流体芯片的上部设有共振线圈，所述微流体芯片的侧面设有双晶硅框架，所述双晶硅框架的内侧设有双晶硅膜，本实用新型采用隔膜和微流体芯片进行高精度控制，将流体输送到微流体通道并灵活改变其流速，且微量泵可以产生具有可控尺寸和化学成分的微滴，用于提供精确、可重复和独立配送的流量。

技术领域

本实用新型涉及微量泵技术领域，具体是一种高精密可调节电驱动微量泵。

背景技术

当今科学技术发展迅速,更多的场合对流体的流动速度,要求进行精确的控制，在医院及科学实验等场合使用的微量泵可以对药物液体的使用量和速度进行精确控制, 电驱动微量泵不只改善了医疗应用中给药方式,还提高了医疗安全水平,同时电驱动微量泵也可应用于生命科学研究、生物化学试验和食品安全监控等特殊领域，微量泵作为主要的驱动元件，可以为整个系统的工作提供驱动力，其中微量恒定流量可以作为微量输送子系统，传统的电驱动微量泵无法高精度调节流动速率，并且噪音比较大,从而降低了微量泵的性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高精密可调节电驱动微量泵，以解决传统电驱动微量泵无法高精度调节流动速率，并且噪音比较大,从而降低了微量泵的性能。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体、ER流体入口、隔膜、微流体芯片和双晶硅膜，所述微量泵泵体的右侧设有ER流体入口，所述ER流体入口的内部设有第一单向阀，所述第一单向阀的左端连接有微流体通道，且微流体通道的上部设有隔膜，所述隔膜的左侧通过微流体通道与第二单向阀连接，且第二单向阀的左端设有ER流体出口，所述隔膜的上部设有微流体芯片，所述微流体芯片的上部设有共振线圈，所述共振线圈的侧面设有电极，所述共振线圈的中部设有弹簧，所述微流体芯片的侧面设有双晶硅框架，所述双晶硅框架的内侧设有双晶硅膜，且双晶硅膜的内部设有铝环。

优选的，所述隔膜由下隔膜和上隔膜组成，且下隔膜和上隔膜为圆形隔膜，隔膜的半径为1 毫米， 厚度为30 微米，隔膜位于微流体通道之间，隔膜在左侧电极对上施加适当电压时 ER 流体从右向左流动的情况，ER 流向左侧停止，从而导致压力积聚在隔膜下方并向上推动，隔膜上的流体体积被压缩，从而驱动液体流动。

优选的，所述双晶硅膜（的内部设有压敏电阻和金属驱动的上层铝膜，可以用于检测膜片的形变情况，另一方面驱动膜片形变大小又决定了微流量泵泵腔的体积变化。

优选的，所述微量泵泵体采用非金属惰性材料制成，可以适用于输送高纯度液体。

优选的，所述微流体芯片由微传感器、微阀、微通道和过滤网构成，微流体芯片可以对微量流体进行复杂及精确的操作，而且尺寸微小，具有提高响应速度的特点。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用高精度且便于控制的微量泵泵体，可以隔膜和微流体芯片进行高精度控制，将流体输送到微流体通道并灵活改变其流速，并在毫秒级和高泵压下快速响应稳定，微量泵可以产生具有可控尺寸和化学成分的微滴，用于提供精确、可重复和独立配送的流量，通过共振线圈和电极进行电信号控制以协同作用时，这些排斥和吸收动作可以产生所需的泵送动作，可以进行控制通道内ER流体的流动，在微流体装置内输送流体并控制其流动速率，具有高灵活性。

附图说明

图1为本实用新型剖视结构示意图。

图2为本实用新型双晶硅膜结构示意图。

图3为本实用新型的隔膜变形结构示意图。