[实用新型]一种安装支架和半导体去胶机台有效
申请号: | 201920444446.1 | 申请日: | 2019-04-02 |
公开(公告)号: | CN209991170U | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 杨保勋;姚敏;彭国发 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | F16M13/02 | 分类号: | F16M13/02;F16M11/04;H01L21/67;G01V8/10 |
代理公司: | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光检测器件 安装支架 滑座 机台 本实用新型 检测位置 工作效率 位置调节 去胶 半导体 转动 检测 移动 | ||
1.一种安装支架,用于将光检测器件安装于机台上,且所述光检测器件具有一最佳检测位置,其特征在于,包括:
滑座,用于与所述机台连接;以及,
调节件,设置于所述滑座上,并能够相对于所述滑座移动和转动;
其中:所述光检测器件用于设置于所述调节件上,所述调节件用于带动所述光检测器件相对于所述调节件运动,以使所述光检测器件达到所述最佳检测位置。
2.根据权利要求1所述的一种安装支架,其特征在于,所述光检测器件可活动地设置于所述调节件上。
3.根据权利要求1或2所述的一种安装支架,其特征在于,所述安装支架还包括第一定位件,所述第一定位件用于固定所述调节件在所述滑座上的位置。
4.根据权利要求3所述的一种安装支架,其特征在于,所述滑座为表面光滑的圆柱状杆体,所述调节件为一套筒;所述套筒套设在所述滑座上,且所述套筒的侧壁上开设有第一螺纹孔,所述第一定位件为与所述第一螺纹孔相配合的第一定位螺栓,所述第一定位螺栓的一端穿过所述第一螺纹孔并抵接所述滑座而固定所述套筒。
5.根据权利要求2所述的一种安装支架,其特征在于,所述安装支架还包括第二定位件,所述第二定位件用于固定所述光检测器件在所述调节件上的位置。
6.根据权利要求5所述的一种安装支架,其特征在于,所述第二定位件包括两块定位板,两块所述定位板分别用于设置在所述光检测器件相对的两侧,并均与所述调节件连接;至少一个所述定位板上开设有至少一个第二螺纹孔;所述第二螺纹孔内设置有第二定位螺栓,所述第二定位螺栓的一端穿过所述第二螺纹孔并抵接所述光检测器件而固定所述光检测器件。
7.根据权利要求6所述的一种安装支架,其特征在于,所述安装支架还包括设置于所述调节件上的过渡板,两块所述定位板与所述过渡板连接,并且所述光检测器件可活动地设置于所述过渡板上。
8.根据权利要求1、2及5-7中任一项所述的一种安装支架,其特征在于,所述安装支架还包括一连接板,所述滑座通过所述连接板与所述机台可拆卸地连接,且所述连接板与所述滑座垂直相连。
9.一种半导体去胶机台,其特征在于,包括:
承载腔;
承载台,可活动地设置于所述承载腔内,并用于放置待去胶的晶片;
如权利要求1-8任一项所述的一种安装支架,设置于所述承载腔的壁上,并位于所述承载台的一侧;
以及光检测器件,设置于所述安装支架上;
其中,所述安装支架用于调整所述光检测器件的位置,以使所述光检测器件于一最佳检测位置对所述承载台上的晶片进行检测。
10.根据权利要求9所述的一种半导体去胶机台,其特征在于,所述光检测器件为光发射器,所述光发射器用于向所述承载台方向发射检测光;
其中,所述半导体去胶机台还包括光接收器,所述光接收器设置于所述承载腔的另一侧的壁上,并用于接收所述检测光。
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