[实用新型]MEMS麦克风和电子设备有效
| 申请号： | 201920405566.0 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209314104U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 端木鲁玉;王德信;方华斌;付博 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 屏蔽罩 电路板 非导电膜 本实用新型 反射屏蔽层 电子设备 容纳空间 金属层 芯片 外界信号干扰 屏蔽效果 罩盖 罩设 金属 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：
电路板；
屏蔽罩，所述屏蔽罩罩设于所述电路板，并形成容纳空间；
芯片，所述芯片设于电路板上，并位于所述容纳空间内；以及
反射屏蔽层，所述反射屏蔽层包括非导电膜和金属层，所述非导电膜和所述金属层均罩盖所述屏蔽罩，所述非导电膜位于所述屏蔽罩与所述金属之间。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述非导电膜设于所述屏蔽罩的外表面。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述非导电膜设于所述屏蔽罩的内表面。
4.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述反射屏蔽层为两层，一所述反射层的所述非导电膜设于所述屏蔽罩的内表面，另一所述反射层的非导电膜设于所述屏蔽罩的外表面。
5.如权利要求2至4中任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述屏蔽罩上的反射屏蔽层的总厚度为30um～10nm。
6.如权利要求2至4中任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述非导电膜为氧化物或高分子材料。
7.如权利要求2至4中任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述金属层为银、铜、镍或金。
8.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括多层所述反射屏蔽层，多层所述反射屏蔽层叠设于所述屏蔽罩的内侧和/或外侧。
9.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述芯片包括MEMS芯片和ASIC芯片。
10.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的MEMS麦克风。
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