[实用新型]一种晶圆烘干槽

说明书

本实用新型提供一种晶圆烘干槽，包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。本实用新型一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，尤其涉及一种晶圆烘干槽。

背景技术

在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量高纯氮气的气态的异丙基乙醇(IPA)吹扫晶圆表面进行干燥处理。异丙基乙醇是无色透明液体，沸点是65.3℃，为了保持异丙基乙醇的气态，高纯氮气也需加热。

高纯氮气的消耗量很大，所以需要对氮气快速加热，但是现有的单台高纯氮气加热器的加热速度不能满足氮气用量需求，只能多台联合使用，导致设备成本增高，同时加热时间长。

实用新型内容

实用新型目的：提供一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率。

一种晶圆烘干槽，包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。

进一步的，所述石英内槽体位于外槽体内部，所述石英内槽体与外槽体中间填充隔热保温棉。

进一步的，所述石英碳素加热器的内部焊接有K型热电偶。

进一步的，所述K型热电偶具体为不锈钢外丝式。

进一步的，所述有杆水缸与槽盖通过转轴连接，所述有杆水缸具体为水动式。

进一步的，所述石英碳素加热器为Z型，所述外槽体上设置有光电开关。

本实用新型实现以下有益效果：

1.本实用新型采用石英碳素加热器可轻松更换，并且减少加热时间，可有效提高运行效率。

2.本实用新型不锈钢外丝式K型热电偶搭配温控器及SCR(温度调整器)使用，可精确控制温度于正负一度。

3.本实用新型的石英内槽体与外槽体之间填充隔热保温棉，确保升温温度不流失，提高生产效率。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为一种晶圆烘干槽整体结构轴测图。

图2为一种晶圆烘干槽整体结构右视图。

图3为一种晶圆烘干槽整体结构俯视图。

图4为一种晶圆烘干槽氮气加热器示意图。

图中：1.石英内槽体；2.外槽体；3.石英碳素加热器；4.有杆水缸；5.氮气加热器；6.光电开关；7.槽盖；8.K型热电偶；9.支撑架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。