[实用新型]一种板材真空镀膜用固定夹具有效
申请号: | 201920359795.3 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN210140624U | 公开(公告)日: | 2020-03-13 |
发明(设计)人: | 蒋建华;向毅 | 申请(专利权)人: | 昆山金百辰金属科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329 | 代理人: | 仲昌民 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 板材 真空镀膜 固定 夹具 | ||
本实用新型公开了一种板材真空镀膜用固定夹具,其技术方案要点是:包括固定在真空镀膜机顶部的气缸缸体,所述气缸的活塞杆端部连接有第一固定杆,所述第一固定杆的端部连接有固定板,所述固定板上转动连接有若干个第二固定杆,所述固定板上还固定有若干个伺服电机,所述伺服电机驱动所述第二固定杆转动,所述第二固定杆的端部分别固定有匚字形板,所述匚字形板的开口内通过第一弹簧连接有第一压板,所述匚字形板在远离所述第一弹簧的一侧滑移连接有第二压板,所述第二压板的一侧焊接固定有第三固定杆;利用板材真空镀膜用固定夹具可以实现对所固定板材的角度和高度的调节,使得在板材真空镀膜的过程中膜层更加均匀一致。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域,特别涉及一种板材真空镀膜用固定夹具。
背景技术
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
在利用真空镀膜机进行真空镀膜的过程中,基材在真空镀膜机中的真空镀膜室内被镀膜,通常情况下待镀件即基材通过夹具直接固定在真空镀膜室内,且基材的角度和高度都无法进行调整;但是为了使得基材表面的膜层均匀与一致,需要调整基材的位置,对于板状的基材而言,为了使得基材的两个表面都能得到均匀一致的膜层,需要在真空镀膜的过程中将其进行翻转,故需要对传统的夹具进行改进。
实用新型内容
针对背景技术中提到的问题,本实用新型的目的是提供一种板材真空镀膜用固定夹具,以解决背景技术中提到的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种板材真空镀膜用固定夹具,包括固定在真空镀膜机顶部的气缸缸体,所述气缸的活塞杆端部连接有第一固定杆,所述第一固定杆的端部连接有固定板,所述固定板上转动连接有若干个第二固定杆,所述固定板上还固定有若干个伺服电机,所述伺服电机驱动所述第二固定杆转动,所述第二固定杆的端部分别固定有匚字形板,所述匚字形板的开口内通过第一弹簧连接有第一压板,所述匚字形板在远离所述第一弹簧的一侧滑移连接有第二压板,所述第二压板在远离所述第一压板的一侧焊接固定有第三固定杆,所述第三固定杆的端部具有与所述第三固定杆一体成型的凸出轴肩,所述第三固定杆的外部还套设有第二弹簧,所述第二弹簧的一端固定在所述凸出轴肩端面,所述第二弹簧的另一端固定在所述匚字形板上。
通过采用上述技术方案,利用板材真空镀膜用固定夹具可以实现对所固定板材的角度和高度的调节,使得在板材真空镀膜的过程中膜层更加均匀一致;当需要对板材的高度进行调节时,可以启动气缸带动第一固定杆拉动固定板进行调节,当需要在真空镀膜过程中将板材旋转时,操作者可以启动固定板上固定的伺服电机,当伺服电机启动时将带动第二固定杆转动,从而带动匚字形板和其上固定的板材进行角度的调节;且利用装置可以方便稳固的将待镀膜的板材固定,当固定板材于夹具时,操作者可以将板材插入到匚字形板的开口内,在第一弹簧和第二弹簧的弹力下,第一压板和第二压板将会把待镀膜板材牢靠的固定。
较佳的,所述气缸的活塞杆端部固定有第一轴环,所述第一固定杆在靠近所述气缸的一端固定有第二轴环,所述第一轴环和所述第二轴环的外部共同螺纹连接有螺纹环套。
通过采用上述技术方案,利用第一轴环、第二轴环和螺纹环套能够方便快捷的实现气缸活塞杆与第一固定杆之间的连接。
较佳的,所述第一固定杆在远离气缸的一端连接有T型钢,所述T型钢焊接固定在所述固定板上。
通过采用上述技术方案,利用T型钢能够方便将第一固定杆端部连接到固定板上。
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