[实用新型]一种压力传感器结构有效
申请号: | 201920351364.2 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN209559390U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 任良元 | 申请(专利权)人: | 嵊州市铭动电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06;G01L19/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 312400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 敏感压力 压力传导 油封帽 阻式 电路基板 外壳体 芯片 压力传感器结构 压力检测通道 本实用新型 密封空腔 腔体 相通 体内 电压信号输出 压力信号转换 产品成本 外部压力 压力感受 压力介质 浸没 开口处 有压力 封帽 给油 位槽 传导 变形 贯穿 | ||
本实用新型公开一种压力传感器结构,包括外壳体和导线,所述外壳体的一侧设有腔体,所述腔体相通有贯穿外壳体另一侧的压力检测通道,所述腔体内设有限位槽,所述腔体内还设有油封帽,所述油封帽的开口处设有电路基板,所述电路基板使油封帽内部形成密封空腔,所述密封空腔内充满有压力传导液体,所述电路基板上设有阻式敏感压力芯片,所述阻式敏感压力芯片浸没在压力传导液体中。本实用新型能通过压力传导液体将外部压力通过压力检测通道相通给油封帽,油封帽变形使得内部的压力传导液体将压力传导给阻式敏感压力芯片,并由阻式敏感压力芯片将压力信号转换为电压信号输出,压力感受不受环境和压力介质的影响,降低产品成本。
技术领域
本实用新型公开一种压力传感器结构,属于压力传感器技术领域。
背景技术
半导体硅材料的压阻效应被人们发现后,利用当代集成电路工艺,人们制造出了压阻式压力敏感元件,如阻式敏感压力芯片,实现了压力和电压信号的转换,但是由于测量介质的多样性,这种只适于不导电、无腐蚀介质应用的元件,对其它介质应用显得无能为力。目前市场上有的压力充油芯体一般都是利用超薄的不锈钢膜片来密封油腔,同时对内部油腔的要求比较高,需要高温注油,以排除腔体内的气体,同时需要激光焊接不锈钢膜片,这样才能保证芯体测量性能优异,但是相对来说,产品的工艺要求也比较高,成本也很高,而采用简单容器和电路基板的配合来密封油腔,则容易造成密封效果不好的情况。
实用新型内容
本实用新型的目的就在为了解决上述的问题而提供一种压力传感器结构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种压力传感器结构,包括外壳体和导线,所述外壳体的一侧设有腔体,所述腔体相通有贯穿外壳体另一侧的压力检测通道,所述腔体内设有限位槽,所述腔体内还设有油封帽,所述油封帽的开口处设有电路基板,所述电路基板使油封帽内部形成密封空腔,所述密封空腔内充满有压力传导液体,所述电路基板上设有阻式敏感压力芯片,所述阻式敏感压力芯片浸没在压力传导液体中,所述导线从电路基板上引出,并与阻式敏感压力芯片相互连接,所述限位槽的内部设有用于压紧电路基板和油封帽的环形压紧件。
优选的,所述油封帽靠近环形压紧件的一侧边缘设有向四周延伸的边沿。
优选的,所述环形压紧件为卡簧,所述限位槽的内侧壁上开设有卡槽,所述卡簧卡入卡槽内用以将电路基板和边沿固定在限位槽处。
优选的,所述环形压紧件为锁紧环,所述限位槽的内侧壁上设有内螺纹,所述锁紧环上设有与内螺纹配合的外螺纹一,所述外螺纹一与内螺纹螺纹连接使得锁紧环将电路基板和边沿固定在限位槽处。
优选的,所述边沿靠近环形压紧件的一侧边缘设有定位圈,所述电路基板位于定位圈内,所述油封帽、边沿和定位圈为一体成型结构。
优选的,所述外壳体的外表面靠近压力检测通道一侧设置有用于与工件连接的外螺纹二。
优选的,所述外螺纹二靠近限位槽的一侧设有橡胶密封圈,所述橡胶密封圈套设在外壳体的外表面。
优选的,所述外壳体远离限位槽的端面边缘设有向外侧倾斜的导向面。
优选的,所述压力传导液体为硅油。
优选的,所述外壳体由金属材质或工程塑料制成。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型能通过压力传导液体将外部压力通过压力检测通道相通给油封帽,油封帽变形使得内部的压力传导液体将压力传导给阻式敏感压力芯片,并由阻式敏感压力芯片将压力信号转换为电压信号输出,压力感受不受环境和压力介质的影响,极大地降低整体产品成本。
附图说明
图1为本实用新型一种压力传感器结构中实施例一的结构示意图;
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