[实用新型]晶圆用自动安装装置

说明书

本实用新型涉及一种晶圆用自动安装装置，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。通过晶圆抓取机构将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上，以实现生产的自动化，从而提高生产速度，节省人力物力的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆用自动安装装置。

背景技术

目前在将晶圆安装到石墨盘的加工工序中，晶圆一般都是储存在扩晶环上，将晶圆从扩晶环上取下需要人工采用吸盘的方式，在将吸附到吸盘上的晶圆安装到石墨盘上相应的位置，并且每次将一个晶圆安装到石墨盘上的相应的位置后，都需要从新在扩晶环上再次拿取下一个晶圆，在找好在石墨盘上与之相对应的安装位置，每次人工找准晶圆的安装位置都会浪费大量的工作时间，由此造成人力的浪费，并且产量也不能满足市场需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆用自动安装装置，以解决需要人工将晶圆安装到石墨盘上的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

提供一种晶圆用自动安装装置，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；

所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。

进一步的，所述石墨盘移动机构包括第三滑台底板、第四滑台底板以及用于支撑石墨盘的托板，所述托板的下端固定连接有可在第三滑台底板上左右滑动的第三螺母，所述第三滑台底板上转动连接有第三丝杆，所述第三螺母螺纹连接在第三丝杆上，所述第三滑台底板的侧壁面上固定连接有第三电机，所述第三电机的输出轴与第三丝杆固定连接，且所述第三电机带动第三丝杆转动以使托板在平板上方左右移动；

所述第三滑台底板的下端固定连接有可在第四滑台底板上前后滑动的第四螺母，所述第四滑台底板上转动连接有第四丝杆，所述第四螺母螺纹连接在第四丝杆上，所述第四滑台底板的侧壁面上固定连接有第四电机，所述第四电机的输出轴与第四丝杆固定连接，且所述第四电机带动第四丝杆转动以使托板在平板上方前后移动；

所述托板的左端固定连接有定位板，所述托板的右端滑动连接有夹紧板，所述托板的上端面、定位板的右端面以及夹紧板的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区；

所述定位板上设有夹紧气缸，所述定位板的上端开设有避让槽，所述夹紧气缸的缸体固定连接在定位板的左端面上，所述夹紧气缸的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块，且所述夹紧气缸带动压紧块左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内；

所述定位板与夹紧板之间设有位移杆，所述位移杆的一端固定连接在定位板上，所述位移杆的另一端滑动连接在夹紧板上，所述夹紧板上固定连接有锁紧块，所述锁紧块与所述位移杆相配合，所述夹紧板的下端固定连接有位移滑块，所述托板的上端固定连接有位移导轨，所述位移滑块滑动连接在位移导轨上，所述夹紧板在托板上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。

进一步的，所述石墨盘移动机构还包括横梁，所述横梁固定连接在平板上，所述横梁上滑动连接有推料座，所述横梁的前端固定连接有推料电机，所述推料电机的输出轴上固定连接有主推料齿轮，所述主推料齿轮上啮合有推料皮带，所述横梁的后端转动连接有副推料齿轮，所述推料皮带与所述副推料齿轮相啮合；

所述推料座的下端固定连接有齿板，所述齿板的上端面与推料座的下端面之间形成移动间隙，所述推料皮带设置在移动间隙内，且所述齿板上的齿与所述推料皮带上的齿相配合以带动推料座在横梁上前后移动；