[实用新型]晶圆用自动安装装置

权利要求书

1.一种晶圆用自动安装装置，其特征在于，包括平板(1)，所述平板(1)的上端面上固定连接有晶圆旋转机构(2)、晶圆抓取机构(3)以及石墨盘移动机构(4)，所述晶圆抓取机构(3)设置在晶圆旋转机构(2)与石墨盘移动机构(4)之间；

所述晶圆抓取机构(3)适于将晶圆旋转机构(2)上的晶圆抓取至石墨盘移动机构(4)的石墨盘上。

2.根据权利要求1所述的晶圆用自动安装装置，其特征在于，所述石墨盘移动机构(4)包括第三滑台底板(41)、第四滑台底板(42)以及用于支撑石墨盘的托板(43)，所述托板(43)的下端固定连接有可在第三滑台底板(41)上左右滑动的第三螺母(431)，所述第三滑台底板(41)上转动连接有第三丝杆(411)，所述第三螺母(431)螺纹连接在第三丝杆(411)上，所述第三滑台底板(41)的侧壁面上固定连接有第三电机(412)，所述第三电机(412)的输出轴与第三丝杆(411)固定连接，且所述第三电机(412)带动第三丝杆(411)转动以使托板(43)在平板(1)上方左右移动；

所述第三滑台底板(41)的下端固定连接有可在第四滑台底板(42)上前后滑动的第四螺母(413)，所述第四滑台底板(42)上转动连接有第四丝杆(421)，所述第四螺母(413)螺纹连接在第四丝杆(421)上，所述第四滑台底板(42)的侧壁面上固定连接有第四电机(422)，所述第四电机(422)的输出轴与第四丝杆(421)固定连接，且所述第四电机(422)带动第四丝杆(421)转动以使托板(43)在平板(1)上方前后移动；

所述托板(43)的左端固定连接有定位板(432)，所述托板(43)的右端滑动连接有夹紧板(433)，所述托板(43)的上端面、定位板(432)的右端面以及夹紧板(433)的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区；

所述定位板(432)上设有夹紧气缸(434)，所述定位板(432)的上端开设有避让槽，所述夹紧气缸(434)的缸体固定连接在定位板(432)的左端面上，所述夹紧气缸(434)的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块(44)，且所述夹紧气缸(434)带动压紧块(44)左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内；

所述定位板(432)与夹紧板(433)之间设有位移杆(45)，所述位移杆(45)的一端固定连接在定位板(432)上，所述位移杆(45)的另一端滑动连接在夹紧板(433)上，所述夹紧板(433)上固定连接有锁紧块(46)，所述锁紧块(46)与所述位移杆(45)相配合，所述夹紧板(433)的下端固定连接有位移滑块(47)，所述托板(43)的上端固定连接有位移导轨(471)，所述位移滑块(47)滑动连接在位移导轨(471)上，所述夹紧板(433)在托板(43)上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。