[实用新型]一种高温化学气相沉积加热系统

说明书

本实用新型公开了一种高温化学气相沉积加热系统，解决了现有加热系统无法对沉积反应桶内进行快速加热，加热系统绝缘性差，热辐射大，使用完毕后无法对加热桶进行快速散热的问题，其包括反应桶体，所述反应桶体内部安装有散热组件，反应桶体外部两侧均安装有传热板，传热板外部位于反应桶体外部位置处安装有加热层，加热层内部安装有加热线圈，反应桶体顶端安装有保温盖，本实用新型，结构紧凑，便于优化现有加热系统，使加热系统可以对加热桶内部进行快速加热，便于内部反应更加高效，增强了系统的绝缘性，防止热辐射对外界造成伤害，反应完毕后可对加热桶进行快速降温，使化学气相沉积加热系统更加完善。

技术领域

本实用新型涉及加热系统技术领域，具体为一种高温化学气相沉积加热系统。

背景技术

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料，但是，我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以保证得到高纯度的产品，因此，无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题，化学气相沉积是一种制备材料的气相生长方法，它是把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有基材的反应室，借助空间气相化学反应在基体表面上沉积固态薄膜的工艺技术，但现有高温化学气相沉积加热系统仍存在一些不足：现有加热系统无法对沉积反应桶内进行快速加热，加热系统绝缘性差，热辐射大，使用完毕后无法对加热桶进行快速散热。

所以，如何设计一种高温化学气相沉积加热系统，成为我们当前要解决的问题。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种高温化学气相沉积加热系统，有效的解决了现有加热系统无法对沉积反应桶内进行快速加热，加热系统绝缘性差，热辐射大，使用完毕后无法对加热桶进行快速散热的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括反应桶体，所述反应桶体内部安装有散热组件，反应桶体外部两侧均安装有传热板，传热板外部位于反应桶体外部位置处安装有加热层，加热层内部安装有加热线圈，反应桶体顶端安装有保温盖，保温盖顶端位于加热层外部位置处安装有隔离组件，隔离组件外部安装有水冷层，水冷层底端安装有保温层，反应桶体内部贯穿水冷层安装有废气口，反应桶体底端内侧贯穿保温层底端安装有排气口。

优选的，所述散热组件包括导热架、加强杆、散热片和传热孔，导热架之间安装有加强杆，导热架内部安装有散热片，导热架外部一侧开设有传热孔。

优选的，所述隔离组件包括隔热层、绝缘层和防辐射层，隔热层外部安装有绝缘层，绝缘层外部安装有防辐射层。

优选的，所述保温盖顶端安装有绝缘手柄，绝缘手柄外部安装有隔热套。

优选的，所述排气口数量为两个，且排气口对称分布在反应桶体底端。

优选的，所述加热线圈数量为两个，且加热线圈对称分布在加热层内部。

本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于优化现有加热系统，使加热系统可以对加热桶内部进行快速加热，便于内部反应更加高效，增强了系统的绝缘性，防止热辐射对外界造成伤害，反应完毕后可对加热桶进行快速降温，使化学气相沉积加热系统更加完善。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型整体结构示意图；

图2是本实用新型导热架安装结构示意图；

图3是本实用新型隔热层安装结构示意图。

具体实施方式