[实用新型]一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置

说明书

本实用新型公开了一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽。本实用新型将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及FMM金属薄板技术领域，具体是一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置。

背景技术

目前高阶手机使用的AMOLED面板的主要生产方法是采用真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到精细金属遮罩FMM金属薄板，FMM金属薄板的材料主要是一种低膨胀金属。

一般FMM金属薄板使用因瓦金属(invar)制得，因瓦金属的成分主要为含36％镍的铁属合金，FMM金属薄板的厚度很薄，大约在20-30um。而很薄的因瓦金属生产困难、供应有限，一般都被国外企业限定只卖给特定公司，因此，在市场上只能买到厚度较厚的因瓦金属，为制得满足使用需求的、较薄的FMM金属薄板，急需一种减薄装置对较厚因瓦金属进行加工，以制得满足使用需求的FMM金属薄板。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽；

FMM金属薄板通过所述传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置，并在传送机构带动下垂直通过所述进料槽进入蚀刻容器内、在传送机构带动下垂直通过所述出料槽输出蚀刻容器；

在蚀刻容器内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构。

将FMM金属薄板的两端分别与传送机构固定连接、并使得FMM金属薄板在传送机构的带动下垂直通过进料槽进入蚀刻容器、经蚀刻后垂直通过出料槽输出蚀刻容器，实现对FMM金属薄板的平稳传送，确保FMM金属薄板蚀刻的均匀性，有效提高FMM金属薄板的蚀刻质量，满足使用需求。

具体使用时，在蚀刻容器内灌装一定量的蚀刻液，使得FMM金属薄板缠绕于传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构。在蚀刻过程中，喷液机构以一定的角度、一定的压力以及一定的速度喷出蚀刻液，实现对蚀刻容器内蚀刻液的搅动、并使得蚀刻液通过搅动产生紊流，进而实现对FMM金属薄板两面的均匀蚀刻。

设置在蚀刻容器内的喷液机构对称设置于FMM金属薄板呈竖直方向布置的两侧，且喷液机构可沿着竖直方向上下移动，喷液机构喷出的蚀刻液角度、压力以及速度均控制在一定范围内，并可根据具体使用需求进行调整，进一步确保对FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量；将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。

作为本实用新型进一步的方案：所述喷液机构包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵与右喷洒矩阵，左喷洒矩阵与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；

所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。

作为本实用新型进一步的方案：所述左喷洒矩阵与所述右喷洒矩阵均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架、沿着所述固定支架上下移动的移动支架、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴；