[实用新型]一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置

权利要求书

1.一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：

FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或一字形布置；

所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)，FMM金属薄板在传送机构(2)带动下垂直通过进料槽(11)进入所述蚀刻容器(1)内、并在传送机构(2)带动下垂直通过出料槽(12)输出所述蚀刻容器(1)，FMM金属薄板呈水平式的浸在所述蚀刻容器(1)内的蚀刻液中。

2.根据权利要求1所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述水平式蚀刻装置还包括设置在蚀刻容器(1)内的喷液机构(3)；

所述喷液机构(3)包括一上一下关于浸在蚀刻液中FMM金属薄板对称设置的上喷洒矩阵(31)与下喷洒矩阵(32)，上喷洒矩阵(31)与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离、下喷洒矩阵(32)与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离均为H。

3.根据权利要求2所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述距离H的取值范围为10cm≤H≤35cm。

4.根据权利要求2所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述上喷洒矩阵(31)与所述下喷洒矩阵(32)均包括在蚀刻液中水平布置的固定支架(301)、沿着所述固定支架往复式移动的移动支架(302)、以及设置于移动支架上表面或下表面的喷嘴(303)；

所述移动支架(302)与所述固定支架(301)相互垂直。

5.根据权利要求4所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：两相邻所述喷嘴(303)之间的间距ΔX与所述喷嘴(303)和FMM金属薄板之间的间距H之间存在ΔX:H＝5:3的关系。

6.根据权利要求4或5所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述喷嘴(303)为可摇摆式喷嘴；

所述喷嘴(303)的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。

7.根据权利要求1所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述进料槽(11)与所述出料槽(12)对称开设于蚀刻容器(1)的上表面；

当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈一字形布置时，所述进料槽(11)开设于蚀刻容器(1)的一侧端面、所述出料槽(12)开设于蚀刻容器(1)的另一侧端面。

8.根据权利要求1或7所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽上方的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、设置于出料槽上方的出料轮(24)与出料支撑轮(25)、以及设置于蚀刻容器中两中间轮(23)，所述进料支撑轮(22)与浸在蚀刻液中的一中间轮(23)位于同一竖直线上、所述出料支撑轮(25)与浸在蚀刻液中的另一中间轮(23)位于同一竖直线上；

当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈一字形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽外侧的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、以及设置于出料槽外侧的出料轮(24)与出料支撑轮(25)，所述进料轮(21)与出料轮(24)位于同一水平线上、且所述进料支撑轮(22)与所述出料支撑轮(25)位于同一水平线上。