[实用新型]微机电泵模块

说明书

一种微机电泵模块，包含一微机电芯片。微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；多个微机电泵，设置于芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个第一连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第一电极；多个第二连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第二电极；至少一第一控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第一连接点；以及至少一第二控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第二连接点。至少一第一控制电极以及至少一第二控制电极分别设置在芯片本体的相对两侧。

【技术领域】

本案关于一种微机电泵模块，尤指一种利用新颖布局方式来降低芯片面积的微机电泵模块。

【背景技术】

随着科技的日新月异，传统的流体输送装置已朝向装置微小化、流量极大化的方向进行。在应用上也愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热到近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影。

而近年来微机电相关制程以一体成型的方式来达成流体输送装置的芯片化，如图1所示，传统微机电泵模块9包含一芯片本体90以及多个微机电泵91。多个微机电泵91一体成型设置于芯片本体90上，并且每一微机电泵91具有多个控制电极91a。

然而，芯片化的流体输送装置所包含的控制电极91a往往占据很大的面积，使得芯片成本无法降低。因此如何利用创新的结构以减少控制电极91a所占据的面积，借以降低芯片成本，为目前需要解决的议题。

【实用新型内容】

本案的主要目的在于提供一种微机电泵模块，利用新颖的布局方式，使得控制电极数量极少化，借以降低整体芯片面积，进而降低芯片成本。

为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵模块，包含一微机电芯片。微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；多个微机电泵，设置于芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个第一连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第一电极；多个第二连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第二电极；至少一第一控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第一连接点；以及至少一第二控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第二连接点。至少一第一控制电极以及至少一第二控制电极分别设置在芯片本体的相对两侧。

【附图说明】

图1为先前技术中微机电泵模块的示意图。

图2为本案第一实施例的微机电泵模块的示意图。

图3为本案第二实施例的微机电泵模块的示意图。

图4为本案第三实施例的微机电泵模块的示意图。

图5为本案第四实施例的微机电泵模块的示意图。

图6为本案第五实施例的微机电泵模块的示意图。

图7为本案第六实施例的微机电泵模块的示意图。

图8为本案微机电泵的电性连接示意图。

图9A为本案微机电泵模块的控制信号的第一态样示意图。

图9B为本案微机电泵模块的控制信号的第二态样示意图。

图9C为本案微机电泵模块的控制信号的第三态样示意图。

图9D为本案微机电泵模块的控制信号的第四态样示意图。

图9E为本案微机电泵模块的控制信号的第五态样示意图。

图9F为本案微机电泵模块的控制信号的第六态样示意图。

【具体实施方式】