[实用新型]微机电泵模块有效
| 申请号： | 201920173338.5 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN209925181U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;蔡长谚 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片本体 电性连接 控制电极 微机电泵 连接点 微机电芯片 第二电极 第一电极 相对两侧 长边 短边 | ||
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：
一微机电芯片，包含：
一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；
多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；
多个第一连接点，设置于该芯片本体，且电性连接该多个微机电泵的该第一电极；
多个第二连接点，设置于该芯片本体，且电性连接该多个微机电泵的该第二电极；
至少一第一控制电极，设置于该芯片本体，且电性连接该多个第一连接点；以及
至少一第二控制电极，设置于该芯片本体，且电性连接该多个第二连接点；
其中，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别设置在该芯片本体的相对两侧。
2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个第一连接点分别电性连接该多个微机电泵的该第一电极。
3.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，每一该第一连接点电性连接相对应的多个该微机电泵的该第一电极。
4.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，每一该第二连接点电性连接相对应的多个该微机电泵的该第二电极。
5.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别邻近该芯片本体的该二短边。
6.如权利要求5所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极与该芯片本体的该二长边距离相等。
7.如权利要求5所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极与该芯片本体的该二长边距离不相等。
8.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别邻近该芯片本体的该二长边。
9.如权利要求8所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极与该芯片本体的该二短边距离相等。
10.如权利要求8所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极与该芯片本体的该二短边距离不相等。
11.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于：
每一该微机电泵更包含一压电件；
该至少一第一控制电极接受为一定电压的控制信号，且该至少一第二控制电极接受为一变电压的控制信号；以及，
该变电压为在一第一电压及一第二电压间切换的电压值，且该定电压的电压值介于该第一电压的电压值与该第二电压的电压值之间，使得该压电件因该第一电极与该第二电极之间持续改变的电压差产生形变，用以传输流体。
12.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于：
每一该微机电泵更包含一压电件；
该至少一第一控制电极接受为一第一变电压的控制信号，且该至少一第二控制电极接受为一第二变电压的控制信号；
该第一变电压以及该第二变电压为连续交替的电压，并且皆具有一高电压点以及一低电压点；以及，
该至少一第一控制电极及该至少一第二控制电极持续接收交替信号，使得该压电件因该第一电极与该第二电极之间持续改变的电压差产生形变，用以传输流体。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于研能科技股份有限公司，未经研能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920173338.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
