[实用新型]一种旋转靶探伤装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转靶探伤装置，包括水池和设在水池内的固定装置与探伤装置。探伤装置包括固定在水池底面上的探伤架、水平固定在探伤架上的光杠和与光杠滑动连接的安装底座。固定装置包括对称固定在水池底面上的左支架与右支架、与左支架转动连接的左转轴、固定在左转轴上的左顶尖、与右支架螺纹的顶紧丝杠、和设在顶紧丝杠上的右顶尖。本实用新型用于旋转靶的探伤，具有操作简单，探伤速度快和探伤效率高的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及靶材质量检测的技术领域，尤其是涉及一种旋转靶探伤装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来，溅射靶材及溅射技术的同步发展，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如，在半导体集成电路制造过程中，以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线：在平面显示器产业中，各种显示技术(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步发展，有的已经用于电脑及计算机的显示器制造；在信息存储产业中，磁性存储器的存储容量不断增加，新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求，需求数量也逐年增加。

靶材在制作完成后，需要进行探伤，发现其内部和表面可能存在的缺陷。探伤采用的设备为超声波探伤仪，使用过程中需要配合特制的探头使用。靶材品种多，外形多样，尺寸变化大，大部分需要定制探头，检测成本非常高，并且对于靶材上不规则的部分，无法使用直接接触法进行检测。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种使用更加方便的旋转靶探伤装置。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种旋转靶探伤装置，包括水池、设在水池内的固定装置和设在水池内的探伤装置；

所述探伤装置包括固定在水池底面上的探伤架、水平固定在探伤架上的光杠和与光杠滑动连接的安装底座。

通过采用上述技术方案，水池内充满水后将超声波探头固定在安装底座上，安装底座在光杠上滑动的过程中，超声波探头对旋转靶进行探伤。该过程中，超声波探头水平移动，避免了手动操作时检测轨迹波动的问题，同时使用水作为检测介质，避免了使用特殊定制探头和楔块，能够降低检测成本和检测难度。

本实用新型进一步设置为：所述固定装置包括对称固定在水池底面上的左支架与右支架、与左支架转动连接的左转轴、固定在左转轴上的左顶尖、与右支架螺纹的顶紧丝杠、和设在顶紧丝杠上的右顶尖。

通过采用上述技术方案，本实用新型提供了一种固定装置的具体结构，左顶尖和右顶尖从两侧将旋转靶顶住，使其悬空，这样能够对旋转靶的全部外表面进行检测。

本实用新型进一步设置为：所述顶紧丝杠的一端上转动连接有右转轴；

所述右顶尖顶在右转轴的自由端上。

通过采用上述技术方案，左顶尖和右顶尖将旋转靶顶紧后，通过转动左转轴或者右转轴，就能够带动旋转靶转动，避免了反复拆装的麻烦，能够缩短检测时间，提高检测效率。

本实用新型进一步设置为：所述左转轴的自由端上固定有转盘。

通过采用上述技术方案，转盘直径大，握持更加方便。

本实用新型进一步设置为：所述转盘上设有顶紧丝杆；