[实用新型]一种低温真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种低温真空镀膜装置，其技术方案要点是：包括镀膜室，所述镀膜室的外部固定有真空泵，所述镀膜室的内部固定有环板，所述环板的下方连接有冷却箱，所述镀膜室的外部固定有第一水泵和第二水泵，所述第一水泵的入水端连接有第一管道，所述第一水泵的出水端连接有第二管道，所述第二管道与所述冷却箱连通，所述第二水泵的入水端连接有第三管道，所述第三管道与所述冷却箱连通，所述第二水泵的出水端连通有第四管道，所述冷却箱的底部均布有若干个第一散热片，所述冷却箱的内环壁上均布有若干个第二散热片，低温真空镀膜装置可以制造低温环境，能够避免真空镀膜过程中镀膜室温度上升过快影响塑料制品的镀膜生产。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种低温真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

常见的真空镀膜的被镀产品一般都是金属制品，而在真空镀膜的过程中镀膜室内的温度都比较高，部分塑料制品等不能耐受高温，容易在高温度的情况下出现变形的情况，不便于实际使用，因此需要对其进行改进。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种低温真空镀膜装置，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室的外部固定有真空泵，所述镀膜室的内部固定有截面为L形的环板，所述环板的下方通过若干个第一锁紧螺栓连接有冷却箱，所述镀膜室的外部固定有第一水泵和第二水泵，所述第一水泵的高度高于所述第二水泵的高度，所述第一水泵的入水端连接有第一管道，所述第一水泵的出水端连接有第二管道，所述第二管道穿过所述镀膜室与所述冷却箱连通，所述第二水泵的入水端连接有第三管道，所述第三管道与所述冷却箱连通，所述第二水泵的出水端连通有第四管道，所述冷却箱的底部均布有若干个第一散热片，所述冷却箱的内环壁上均布有若干个第二散热片。

通过采用上述技术方案，低温真空镀膜装置可以制造低温环境，能够避免真空镀膜过程中镀膜室温度上升过快影响塑料制品的镀膜生产；当使用装置时，冷却箱可以方便安装固定到镀膜室内部，启动第一水泵时，第一水泵可以将外界的凉水经过第一管道和第二管道进入到冷却箱内，冷却箱上的第一散热片和第二散热片增大了散热面积，能够增大冷却箱对镀膜室内部的散热程度，启动第二水泵，第二水泵通过第三管道和第四管道将携带热量的水流抽出，利用水流的冷却作用能够较好的降低镀膜室内的温度。

较佳的，所述冷却箱上具有与所述冷却箱一体成型的第一支管，所述第一支管与所述冷却箱内部相互连通，所述第二管道端部固定有第一法兰盘，所述第一支管端部固定有第二法兰盘，所述第一法兰盘和所述第二法兰盘之间通过若干个第二锁紧螺栓连接。

通过采用上述技术方案，冷却箱上第一支管的存在，使得冷却箱能够方便与第二管道连接，当需要将第二管道与冷却箱连通时，操作者可以将第一法兰盘和第二法兰盘对接，之后拧紧第二锁紧螺栓即可。

较佳的，所述冷却箱上具有与所述冷却箱一体成型的第二支管，所述第二支管与所述冷却箱内部相互连通，所述第二支管的端部具有凸出的第一轴肩，所述第三管道端部具有与所述第三管道一体成型的第二轴肩，所述第一轴肩和所述第二轴肩的外部共同螺纹连接有螺纹环套。

通过采用上述技术方案，冷却箱上第二支管的存在，使得冷却箱能够方便与第三管道连接，当需要将第三管道与冷却箱连通时，操作者可以将第一轴肩和第二轴肩对接，之后拧紧螺纹环套即可。