[实用新型]一种低温真空镀膜装置

权利要求书

1.一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室(1)，所述镀膜室(1)的外部固定有真空泵(2)，其特征在于：所述镀膜室(1)的内部固定有截面为L形的环板(3)，所述环板(3)的下方通过若干个第一锁紧螺栓(4)连接有冷却箱(6)，所述镀膜室(1)的外部固定有第一水泵(7)和第二水泵(8)，所述第一水泵(7)的高度高于所述第二水泵(8)的高度，所述第一水泵(7)的入水端连接有第一管道(9)，所述第一水泵(7)的出水端连接有第二管道(10)，所述第二管道(10)穿过所述镀膜室(1)与所述冷却箱(6)连通，所述第二水泵(8)的入水端连接有第三管道(11)，所述第三管道(11)与所述冷却箱(6)连通，所述第二水泵(8)的出水端连通有第四管道(12)，所述冷却箱(6)的底部均布有若干个第一散热片(13)，所述冷却箱(6)的内环壁上均布有若干个第二散热片(14)。

2.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却箱(6)上具有与所述冷却箱(6)一体成型的第一支管(15)，所述第一支管(15)与所述冷却箱(6)内部相互连通，所述第二管道(10)端部固定有第一法兰盘(16)，所述第一支管(15)端部固定有第二法兰盘(17)，所述第一法兰盘(16)和所述第二法兰盘(17)之间通过若干个第二锁紧螺栓(18)连接。

3.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却箱(6)上具有与所述冷却箱(6)一体成型的第二支管(19)，所述第二支管(19)与所述冷却箱(6)内部相互连通，所述第二支管(19)的端部具有凸出的第一轴肩(20)，所述第三管道(11)端部具有与所述第三管道(11)一体成型的第二轴肩(21)，所述第一轴肩(20)和所述第二轴肩(21)的外部共同螺纹连接有螺纹环套(22)。

4.根据权利要求2所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述第一法兰盘(16)和所述第二法兰盘(17)在相互靠近的一面共同开设有第一放置槽(23)，所述第一放置槽(23)内设置有密封圈(24)。

5.根据权利要求3所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述第一轴肩(20)和所述第二轴肩(21)在相互靠近的一面共同开设有第二放置槽(25)，所述第二放置槽(25)内设置有O形圈(26)。

6.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜室(1)的内部通过第一弹簧(27)连接有两个抵触板(28)，所述第一弹簧(27)的一端固定在所述镀膜室(1)内部，所述第一弹簧(27)的另一端固定在所述抵触板(28)上。

7.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述第一锁紧螺栓(4)的端部固定有两片旋转耳(29)。

8.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述环板(3)内开设有滑槽(30)，所述滑槽(30)内沿水平方向滑移连接有弹性插柱(31)，所述弹性插柱(31)与所述滑槽(30)槽底之间连接有第二弹簧(32)，所述冷却箱(6)上开设有供所述弹性插柱(31)插入的插槽(33)。