[发明专利]一种压电驱动器及其制造方法和成像模组

说明书

本发明公开了一种压电驱动器及其制造方法和成像模组，其中所述压电启动器包括：压电元件，所述压电元件包括可动端和固定端；支撑块，用于固定所述压电元件的固定端；移动部件，设置于所述压电元件的可动端，所述移动部件设有滑槽，所述可动端至少部分伸入所述滑槽内，所述移动部件设有限位孔，所述限位孔沿所述压电元件的翘曲方向延伸；固定的导向杆，所述导向杆的至少一部分伸入所述限位孔，所述压电元件在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件相对于所述导向杆向上或向下移动。

技术领域

本发明涉及运动控制技术领域，尤其涉及一种压电驱动器及其制造方法和成像模组。

背景技术

在一些电子终端中，通常会需要让其中的某些部件发生平移、竖直移动或者倾斜，进而实现某些特殊功能。例如目前在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过VCM马达(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜或图像传感器，在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。然而，不同于传统单反相机，在空间体积狭小的手机、微型摄像机、照相机等电子终端实现该功能，是一项巨大工程挑战。参考图1A和1B，为一种制动器的主要结构图，图1A为牺牲层释放后的理想状态情形，移动部件30处于平衡状态，图1B为牺牲层释放后的实际状态，牺牲层释放后移动部件30受重力作用发生旋转。在某些场合需要制动器先释放支撑牺牲层后再与需制动的元件键合，移动部件30的旋转，影响后续元件键合。另外，参考图2A和图2B，图2A理想状态下被移动元件50向上移动的结构示意图，图2B为被移动元件50发生横向移动的的结构示意图，因此，如何解决上述两个问题，是目前需要解决的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电驱动器及其制造方法和成像模组，能够解决牺牲层释放后移动部件受重力作用发生旋转和被驱动部件在向上或向下运动时发生水平移动的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种压电驱动器，包括：

压电元件，所述压电元件包括可动端和固定端；

支撑块，用于固定所述压电元件的固定端；

移动部件，设置于所述压电元件的可动端，所述移动部件设有滑槽，所述可动端至少部分伸入所述滑槽内，所述移动部件设有限位孔，所述限位孔沿所述压电元件的翘曲方向延伸；

固定的导向杆，所述导向杆的至少一部分伸入所述限位孔，所述压电元件在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件相对于所述导向杆向上或向下移动。

本发明还提供了一种成像模组，包括上述的压电驱动器，还包括被移动元件，所述被移动元件包括：透镜组、成像传感元件、光圈或透镜片；

电连接端，与所述压电驱动器电极连接。

本发明还提供了一种压电驱动器的形成方法，包括：

提供第一衬底；

在所述第一衬底上形成支撑块以及所述支撑块围成区域的第一牺牲层，在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，以及位于所述第二牺牲层中的所述移动部件的下半部分，所述移动部件的下半部分包括滑槽的底壁和滑槽侧壁的下半部分；

提供压电元件，包括可动端和固定端，将所述固定端键合在所述支撑块上，所述可动端伸入所述滑槽；

在所述压电元件上、所述第二牺牲层上形成第三牺牲层，以及位于所述牺牲层中的所述移动部件的上半部分，所述移动部件的上半部分包括滑槽侧壁的上半部分和滑槽的顶壁；

在形成所述移动部件时或形成所述移动部件后，还包括：在所述移动部件中形成限位孔，以及在所述限位孔中形成导向杆；

形成完所述移动部件和所述导向杆后还包括：