[发明专利]真空处理系统、基台的驱动装置及其控制方法

权利要求书

1.一种基台的驱动装置，其特征在于，包括用于承载所述基台的支撑部件和至少两个驱动单元，所述驱动单元的驱动端与所述支撑部件连接，各所述驱动单元的驱动端与所述支撑部件的连接位置相对所述支撑部件的竖向中心线对称设置，以驱动所述支撑部件沿竖向升降。

2.根据权利要求1所述的基台的驱动装置，其特征在于，还包括复合阻尼系统，用于防止所述支撑部件在移动过程中偏斜；所述复合阻尼系统包括至少两个复合阻尼单元，所述复合阻尼单元设于所述驱动单元与所述支撑部件之间。

3.根据权利要求2所述的基台的驱动装置，其特征在于，所述驱动单元包括驱动源和升降件，所述驱动源用于驱动所述升降件沿竖向升降，所述支撑部件通过连接桥与所述升降件连接，所述复合阻尼单元具体设于所述连接桥与所述升降件之间。

4.根据权利要求3所述的基台的驱动装置，其特征在于，所述驱动源为电机，所述驱动单元还包括与所述电机的输出端连接的驱动轴，所述驱动轴的长度方向与所述支撑部件的竖向中心线平行，所述电机用于带动所述驱动轴转动；所述升降件包括升降块和与所述升降块固接的过渡连接件，所述升降块与所述驱动轴螺纹连接，所述连接桥与所述过渡连接件连接。

5.根据权利要求4所述的基台的驱动装置，其特征在于，所述连接桥和所述过渡连接件具有位置对应的连接孔，两者通过贯穿所述连接孔的连接销连接，所述连接孔的孔径大于所述连接销的径向尺寸，以使所述连接销与所述连接孔之间具有设定的活动余量。

6.根据权利要求5所述的基台的驱动装置，其特征在于，所述复合阻尼单元包括垂向阻尼器和水平阻尼器，所述垂向阻尼器的一端与所述过渡连接件抵接，另一端与所述连接销抵接，所述水平阻尼器的一端与所述连接桥抵接，另一端与所述连接销抵接。

7.根据权利要求1所述的基台的驱动装置，其特征在于，所述支撑部件包括圆形筒和固接于所述圆形筒两端的端板，所述圆形筒的轴向中心线为所述支撑部件的竖向中心线。

8.根据权利要求1-7任一项所述的基台的驱动装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与各所述驱动单元通信连接，所述控制器用于控制各所述驱动单元同步动作。

9.一种真空处理系统，包括具有真空腔室的腔体部件、位于所述真空腔室的基台和驱动所述基台竖向升降的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置为权利要求1-8任一项所述的基台的驱动装置，所述支撑部件的竖向中心线与所述腔体部件的轴向中心线重合。

10.根据权利要求9所述的真空处理系统，其特征在于，所述腔体部件的腔底壁具有中心通孔，所述腔底壁沿所述中心通孔的周壁向上延伸形成筒部，所述筒部上密封连接有安装座；所述支撑部件的上端穿过所述筒部用以承载所述基台，所述基台的底部与所述安装座之间设有具有弹性的环形密封件。

11.一种基台的驱动装置的控制方法，其特征在于，所述驱动装置包括用于承载所述基台的支撑部件和至少两个驱动单元；

所述驱动单元包括驱动源、与所述驱动源的输出端连接的驱动轴及与所述驱动轴螺纹连接的升降件，所述驱动轴竖向设置，所述升降件与所述支撑部件连接；

各所述驱动单元的所述升降件与所述支撑部件的连接位置相对所述支撑部件的竖向中心线对称设置；

所述控制方法包括：控制各所述驱动源同步正向或反向转动，以驱动各所述驱动轴同步正向或反向转动，在所述驱动轴的转动作用下，与所述驱动轴螺纹连接的所述升降件沿所述驱动轴上升或下降，带动所述支撑部件沿竖向上升或下降。