[发明专利]衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置

说明书

本发明涉及一种衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。载具搬送机构(51)在2个开启机构(9、10)的载置台(13)与多个载具保管架(53)之间搬送载具(C)。多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)分别搭载在第1处理块(3)之上。因此，也可以不像以往那样从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置(1)的占据面积。

技术领域

本发明涉及一种对衬底进行处理的衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。衬底例如可以列举半导体衬底、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)用衬底、光掩模用衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、陶瓷衬底及太阳电池用衬底等。FPD例如可以列举液晶显示装置、有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等。

背景技术

以往的衬底处理装置具备衬底处理装置主体及载具缓冲装置(存放装置)(例如参照日本专利特开2011-187796号公报)。衬底处理装置主体具备装载块及处理块。处理块在水平方向上与装载块连结。装载块内置着衬底搬送机械手。在装载块的外壁设有载具载置台。载具载置台供载置能够收纳多个衬底的载具。载具载置台隔着搬送机械手设于处理块的相反侧。

载具缓冲装置具备保管载具的多个载具保管架及载具搬送机构。载具搬送机构以在多个载具保管架与载具载置台之间搬送载具的方式构成。

发明内容

[发明要解决的问题]

以往的载具缓冲装置配置为隔着装载块处于处理块的相反侧，即在水平方向上从装载块延长到载具载置台侧。这种以往的载具缓冲装置有可能导致衬底处理装置的设置面积即占据面积变大。

本发明是鉴于这种情况完成的，目的在于提供一种能够减小衬底处理装置的占据面积的衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。

[解决问题的技术手段]

本发明为了达成这种目的，采用如下构成。即，本发明的对衬底进行处理的衬底处理装置包含以下要素：第1装载块，设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的至少1个第1载具载置台；第1处理块，在水平方向上与所述第1装载块连结；多个载具保管架，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，分别保管所述载具；及载具搬送机构，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。

根据本发明的衬底处理装置，载具搬送机构在至少1个第1载具载置台与多个载具保管架之间搬送载具。多个载具保管架及载具搬送机构分别搭载在第1装载块及第1处理块中的至少任一个之上。因此，也可以不从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架及载具搬送机构，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置的占据面积。

另外，在所述衬底处理装置中，优选所述第1处理块包含配置成1列的多个处理块，所述第1装载块在水平方向上与所述多个处理块中的一端的第1处理块连结，所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。

由此，对于具备配置成1列的多个处理块的衬底处理装置，能够减小衬底处理装置的占据面积。

另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备第2装载块，该第2装载块在水平方向上与所述多个处理块中的另一端的处理块连结，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。