[发明专利]一种激光散热装置及其制备方法、固体激光器

说明书

本说明书实施例公开了一种激光散热装置及其制备方法和固体激光器，该装置包括：衬底；位于所述衬底一表面的光学高反层，其中，所述光学高反层具有全反射结构；位于所述光学高反层之上的传热层，所述传热层包含多个呈阵列式排布的传热单元，相邻传热单元之间形成传热通道，每个所述传热单元之上设置有支撑单元；所述传热层通过所述多个传热单元将固体激光器产生的热量传导出去，同时，通过阵列式排布形成的传热通道将固体激光器产生的热量扩散出去。从而，有效提升散热效果，提高激光反射率，从整体上提升激光器件的性能。

技术领域

本说明书涉及激光器件领域，尤其涉及一种激光散热装置及其制备方法、固体激光器。

背景技术

目前，固体激光器在使用过程中，输入总能量只有少部分转换为激光输出，绝大部分能量转换成器件的热耗散掉。尤其是激光晶体发热对激光器输出的影响最大。由于激光器的输入功率越大，热效应也越严重，并且特殊用途的激光器还需要一定的机械性能与光学结构方面的集成设计，所以这些有关这些要求的设计成为研制大功率激光器的关键设计。

现有技术中有通过散热装置来解决上述问题的方案，但是，所提供的散热装置功能相对单一，在散热的同时会导致激光反射率降低，影响激光器件性能，且散热效果上不够优异。

发明内容

本说明书实施例的目的是提供一种激光散热装置及其制备方法、固体激光器，以有效提升散热效果，提高激光反射率，从整体上提升激光器件的性能。

为解决上述技术问题，本说明书实施例是这样实现的：

一种激光散热装置，包括：

衬底；位于所述衬底一表面的光学高反层，其中，所述光学高反层具有全反射结构；位于所述光学高反层之上的传热层，所述传热层包含多个呈阵列式排布的传热单元，相邻传热单元之间形成传热通道，每个所述传热单元之上设置有支撑单元；所述传热层通过所述多个传热单元将固体激光器产生的热量传导出去，同时，通过阵列式排布形成的传热通道将固体激光器产生的热量扩散出去。

可选地，所述光学高反层与所述传热层之间还设置有用于辅助结合的铝膜层或导热胶。

可选地，所述光学高反层采用分布式布拉格反射镜设计。

可选地，所述光学高反层是采用原子层沉积工艺制备得到的多层薄膜复合得到。

可选地，所述光学高反层的膜层厚度可控，以得到不同的全反射率。

可选地，所述传热层包含金刚石薄膜和金刚石复合薄膜，其中，所述金刚石复合薄膜为铜与金刚石呈一定比例复合得到，其中，所述预设比例范围在5：5到7：3之间。

可选地，所述支撑单元的高度范围为5mm～7mm。

可选地，所述支撑单元通过焊接工艺或是掩膜光刻工艺设置在所述传热单元之上。

一种激光散热装置的制备方法，包括：

提供一衬底；

在所述衬底的一表面形成具有全反射结构的光学高反层；

在所述光学高反层之上形成包含多个呈阵列式排布的传热单元的传热层，相邻传热单元之间形成传热通道；

在所述传热层的每个传热单元之上设置支撑单元。

一种固体激光器，包括所述的激光器散热装置。

由以上本说明书实施例提供的技术方案可见，本说明书实施例可以实现以下技术效果：