[发明专利]一种激光散热装置及其制备方法、固体激光器

权利要求书

1.一种激光散热装置，其特征在于，包括：

衬底；位于所述衬底一表面的光学高反层，其中，所述光学高反层具有全反射结构；位于所述光学高反层之上的传热层，所述传热层包含多个呈阵列式排布的传热单元，相邻传热单元之间形成传热通道，每个所述传热单元之上设置有支撑单元；所述传热层通过所述多个传热单元将固体激光器产生的热量传导出去，同时，通过阵列式排布形成的传热通道将固体激光器产生的热量扩散出去。

2.如权利要求1所述的激光散热装置，其特征在于，所述光学高反层与所述传热层之间还设置有用于辅助结合的铝膜层或导热胶。

3.如权利要求1所述的激光散热装置，其特征在于，所述光学高反层采用分布式布拉格反射镜设计。

4.如权利要求1-3任一项所述的激光散热装置，其特征在于，所述光学高反层是采用原子层沉积工艺制备得到的多层薄膜复合得到。

5.如权利要求4所述的激光散热装置，其特征在于，所述光学高反层的膜层厚度可控，以得到不同的全反射率。

6.如权利要求1所述的激光散热装置，其特征在于，所述传热层包含金刚石薄膜和金刚石复合薄膜，其中，所述金刚石复合薄膜为铜与金刚石以预设比例混合得到，其中，所述预设比例范围在5：5到7：3之间。

7.如权利要求1所述的激光散热装置，其特征在于，所述支撑单元的高度范围为5mm~7mm。

8.如权利要求1或7所述的激光散热装置，其特征在于，所述支撑单元通过焊接工艺或是掩膜光刻工艺设置在所述传热单元之上。

9.一种激光散热装置的制备方法，其特征在于，包括：

提供一衬底；

在所述衬底的一表面形成具有全反射结构的光学高反层；

在所述光学高反层之上形成包含多个呈阵列式排布的传热单元的传热层，相邻传热单元之间形成传热通道；

在所述传热层的每个传热单元之上设置支撑单元。

10.一种固体激光器，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的激光器散热装置。