[发明专利]LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置在审
申请号: | 201911347244.6 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN110931419A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 狄建科;秦松;刘雪;胡斌 | 申请(专利权)人: | 苏州展德自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 扩张 自动 抓取 压装裁切 装置 | ||
本发明涉及LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,外环张紧机构包含转轴和分度板,导向板连接于转轴的底端,导向柱的上端连接于固定板上,下端连接压板,分度板的中心孔配装有轴承,轴承的内圈与转轴配合,分度板内侧凸设的圆台部与压板连接,分度板的上平面上沿周向设有多个径向滑槽,每一径向滑槽中配置一滑块;导向板上沿周向设有多个腰形孔,腰形孔两端的半圆弧的中心位于不同直径的圆弧轨迹上,沿轴向安装的导向销穿过导向板上腰形孔和分度板上通孔,上端与滑块的内侧端连接,下端置于腰形孔中,转轴带动导向板转动,推动腰形孔中的导向销运动,带动滑块和弧形支撑板沿径向滑动。实现对外环自动抓取张紧、外环压装及裁切膜等功能。
技术领域
本发明涉及一种LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置。
背景技术
LED晶片的生产过程中,LED晶片在划片工艺完成后形成阵列排列的晶粒,阵列排列的晶粒贴附在晶片膜上,晶片膜上的晶粒排列非常紧密,不利于后续固晶工序的操作,因此在LED生产过程中必须对充当LED晶粒载体的晶片膜进行扩张,使得贴附在晶片膜上阵列排列的晶粒均匀扩张,为了使扩张后的晶粒间距在一定时间内保持不变,需要使用子母环(即内外环)将扩张后的晶片膜固定,并将多余的晶片膜(即废膜)切除。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置。
本发明的目的通过以下技术方案来实现:
LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,特点是:包括外环张紧机构和外环压装裁切机构,所述外环张紧机构包含固定板、转轴、分度板和导向板,安装于固定板上的电机与转轴驱动连接,导向板连接于转轴的底端,导向柱的上端连接于固定板上,下端连接压板,分度板位于压板与导向板之间,分度板的中心孔配装有轴承,轴承的内圈与转轴配合,分度板内侧凸设的圆台部与压板连接,分度板的上平面上沿周向设有多个径向滑槽,每一径向滑槽中配置一滑块,滑块位于分度板与压板之间;导向板上沿周向设有多个腰形孔,腰形孔两端的半圆弧的中心位于不同直径的圆弧轨迹上,与腰形孔相对应的分度板上开设有通孔,沿轴向安装的导向销穿过导向板上腰形孔和分度板上通孔,上端与滑块的内侧端连接,下端置于腰形孔中,转轴带动导向板转动,推动腰形孔中的导向销运动,进而带动滑块沿径向滑动,使滑块外侧端连接的弧形支撑板沿径向运动;
所述外环压装裁切机构包含连接板、外环压环以及冲裁刀,连接板位于压板之上,安装于固定板上的气缸的活塞杆与连接板驱动连接,连接板的外侧连接外环压环,外环压环的底端安装有冲裁刀,气缸可驱动外环压环及冲裁刀运动。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,固定板连接于支柱上,支柱固定于连接板上。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,导向板上沿周向均匀间隔设有8个腰形孔,相对应地,分度板的上平面上沿周向均匀间隔设有8个径向滑槽。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,固定板上设有两只导向柱,呈左右对称分布。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,固定板上安装有两只气缸,呈左右对称分布。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,左右两只气缸的活塞杆通过浮动接头与连接板驱动连接。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,转轴上套装有传感器遮片,与其正对的压板上设置有传感器。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,连接板上设有供导向柱穿过的导向孔,导向孔中安装有与导向柱配合的直线轴承。
进一步地,上述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其中,电机的主轴通过联轴器与转轴驱动连接。
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