[发明专利]一种晶圆洗边系统

权利要求书

1.一种晶圆洗边系统，其结构包括脚轮(1)、箱体(2)、控制面板(3)、清洗槽(4)、上盖(5)，所述脚轮(1)安装于箱体(2)下端四角，所述控制面板(3)安装于箱体(2)正面，所述清洗槽(4)嵌入安装于箱体(2)内侧，所述上盖(5)安装于箱体(2)上端；其特征在于：

所述清洗槽(4)包括沿板(41)、清洗箱(42)、内槽(43)、放置框(44)，所述沿板(41)水平安装于清洗箱(42)上端，所述内槽(43)设于清洗箱(42)内侧，所述放置框(44)安装于清洗箱(42)内侧并且位于内槽(43)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆洗边系统，其特征在于：所述放置框(44)包括框架(441)、底网(442)、分隔板(443)、存放屉(444)，所述底网(442)安装于框架(441)内侧底部，所述分隔板(443)水平安装于框架(441)内侧，所述存放屉(444)设于分隔板(443)之间。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆洗边系统，其特征在于：所述存放屉(444)包括底板(44a)、晶圆放置结构(44b)、外框(44c)、隔板(44d)，所述底板(44a)水平安装于外框(44c)下端，所述晶圆放置结构(44b)设于外框(44c)内侧并且之间由隔板(44d)分隔，所述底板(44a)及外框(44c)上端设有通孔。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆洗边系统，其特征在于：所述晶圆放置结构(44b)包括放置架(b1)、侧毛刷(b2)、内腔(b3)、底毛刷结构(b4)，所述侧毛刷(b2)环绕安装于放置架(b1)内侧，所述内腔(b3)设于放置架(b1)内侧，所述底毛刷结构(b4)安装于放置架(b1)内侧底部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆洗边系统，其特征在于：所述底毛刷结构(b4)包括透水网(b41)、橡胶块(b42)、安装块(b43)、刷毛(b44)，所述橡胶块(b42)固定安装于透水网(b41)上端，所述安装块(b43)水平安装于透水网(b41)上端，所述刷毛(b44)均匀嵌入于安装块(b43)外表面。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆洗边系统，其特征在于：所述橡胶块(b42)与安装块(b43)设有多个并且之间间隔分布，所述橡胶块(b42)与安装块(b43)各设有多个通孔与透水网(b41)相连通。