[发明专利]一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统

权利要求书

1.一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，包括起爆装置(1)，起爆装置(1)与起爆器(11)连接，示波器(8)的输出端与计算机(7)连接，其特征在于：起爆装置(1)下端和微尺度装药体(2)上端连接固定，微尺度装药体(2)下端和惰性介质(3)上端固定，惰性介质(3)下端和底板(4)连接固定；微尺度装药体(2)和惰性介质(3)边缘嵌有MEMS压导探针(5)，MEMS压导探针(5)的引线从惰性介质(3)和底板(4)的界面引出；MEMS压导探针(5)的引线、电阻(6)以及恒压源(9)组成一个电流回路；MEMS压导探针(5)的引线与示波器(8)的输入端连接；起爆器(11)通过电流环(10)与示波器(8)的输入端连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，其特征在于：所述的起爆装置(1)包括雷管壳体(1-1)，雷管壳体(1-1)通过中心处的通孔结构固定有雷管(1-2)，雷管壳体(1-1)采用不锈钢材料。

3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，其特征在于：所述的微尺度装药体(2)包括装药壳体(2-1)，装药壳体(2-1)通过中心处的微尺度通孔结构装有炸药药剂(2-2)，炸药药剂(2-2)直径在1～5mm范围内，装药壳体(2-1)采用硅、有机玻璃或不锈钢材料。

4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，其特征在于：所述的惰性介质(3)包括介质壳体(3-1)，介质壳体(3-1)中心处通过通孔结构固定有介质(3-2)，介质壳体(3-1)和介质(3-2)均采用有机玻璃材料。

5.根据权利要求2、3或4所述的一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，其特征在于：所述的底板(4)外径尺寸与雷管壳体(1-1)、装药壳体(2-1)以及介质壳体(3-1)相等，保证雷管(1-2)、炸药药剂(2-2)和介质(3-2)的中心对齐。

6.根据权利要求1所述的一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，其特征在于：所述的MEMS压导探针(5)包括压电层(5-5)，压电层(5-5)上下溅射有电阻层(5-4)，上、下的电阻层(5-4)引出引线(5-6)；电阻层(5-4)周围沉积有绝缘层(5-3)，绝缘层(5-3)外侧溅射有屏蔽层(5-2)，屏蔽层(5-2)接地，且屏蔽层(5-2)周围沉积有保护层(5-1)。

7.根据权利要求6所述的一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，其特征在于：所述的压电层(5-5)采用氮化铝陶瓷通过溅射形成，厚度500nm；电阻层(5-4)采用铜材料通过溅射形成，厚度1μm；绝缘层(5-3)采用派瑞林通过气相沉积形成，厚度5μm；屏蔽层(5-2)采用镍通过溅射形成，厚度2μm；保护层(5-1)采用聚酰亚胺通过旋涂形成，厚度5μm。