[发明专利]一种手持式MEMS光学扫描成像装置

权利要求书

1.一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述光学扫描成像装置包括手柄(1)和设于手柄(1)一端的探头(2)，所述手柄(1)的另一端设有光电接口(3)，所述手柄(1)内部设有通道，该通道内设有连接探头(2)与光电接口(3)的光纤(13)，所述探头(2)包括探头本体(4)、探头头部(5)以及连接探头本体(4)和探头头部(5)的MEMS驱动器(6)，所述探头头部(5)内部设有与光纤(13)连接的样品臂(20)，所述探头本体(4)与手柄(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述MEMS驱动器(6)为双晶片结构MEMS驱动器，该双晶片结构MEMS驱动器采用电热驱动、静电驱动、电磁驱动或压电驱动。

3.根据权利要求2所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述MEMS驱动器(6)采用压电驱动，包括第一压电陶瓷块(7)、第二压电陶瓷块(8)、第一基底(9)、第二基底(10)和扭转梁(11)，所述第一压电陶瓷块(7)和第二压电陶瓷块(8)之间设有间隙，所述第一基底(9)设于第一压电陶瓷块(7)上，所述第二基底(10)设于第二压电陶瓷块(8)上，所述第一基底(9)和第二基底(10)通过扭转梁(11)进行连接，所述第一压电陶瓷块(7)和探头本体(4)连接，所述第二压电陶瓷块(8)与探头头部(5)连接。

4.根据权利要求1所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述样品臂(20)包括设于探头头部(5)内的扫描探针(12)，所述扫描探针(12)的端部与光纤(13)连接。

5.根据权利要求1所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述探头头部(5)的内部设有固定件(29)，所述光纤(13)通过固定件(29)固定在探头头部(5)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，在所述探头本体(4)和探头头部(5)的外侧均套设有真空管(28)。

7.根据权利要求1所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述手柄(1)上沿长度方向设有多个手指环(14)。

8.根据权利要求1所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，该装置还包括与样品臂(20)连接的OCT系统，所述OCT系统包括沿光信号传播方向依次连接的光源(15)、分光组件、成像组件以及与分光组件连接的参考臂组件，所述样品臂(20)与分光组件连接。

9.根据权利要求8所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述分光组件包括第一耦合器(16)、第一环形器(17)、第二环形器(18)和第二耦合器(19)，所述第一耦合器(16)和光源(15)连接，所述第二耦合器(19)和成像组件连接，所述第一环形器(17)和第二环形器(18)并联设置在第一耦合器(16)和第二耦合器(19)之间，所述第一环形器(17)与参考臂组件连接，所述第二环形器(18)与样品臂(20)连接。

10.根据权利要求8所述的一种手持式MEMS光学扫描成像装置，其特征在于，所述参考臂组件包括聚焦透镜(21)、滤光片(22)和参考臂(23)，所述聚焦透镜(21)与分光组件连接，所述滤光片(22)设于聚焦透镜(21)和参考臂(23)之间；

所述成像组件包括沿光信号传播方向设置的探测器(24)和计算机(25)。