[发明专利]工艺监测

权利要求书

1.一种确定缺陷的缺陷材料元素的方法，所述方法包括以下步骤：

通过带电粒子束系统并通过应用光谱工艺来获取所述缺陷的一部分的电磁发射光谱；

通过所述带电粒子束系统获取包括所述缺陷的区域的背散射电子(BSE)图像；和

通过确定在所述电磁发射光谱中是否存在模糊性并响应于确定存在所述模糊性而基于所述BSE图像来解析所述模糊性，确定所述缺陷材料元素，其中所述模糊性指示所述电磁发射光谱中的峰之间的能量差小于所述光谱工艺的分辨率的情况；

其中获取所述BSE图像的步骤包括：用具有入射能量的电子照射所述区域；和仅从具有高于能量阈值的能量的BSE电子生成所述BSE图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中解析所述模糊性的步骤包括从潜在材料元素中选择所述缺陷材料元素，所述潜在材料元素呈现出以小于所述光谱工艺的分辨率的能量差彼此间隔开的峰。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述潜在材料元素包括有机材料元素和一组材料中的由于所述光谱工艺的所述分辨率使得无法通过所述光谱工艺与所述有机材料元素区分开来的较重材料元素。

4.根据权利要求1所述的方法，其中解析所述模糊性的步骤包括基于所述缺陷的一个或多个BSE图像像素的强度来选择所述缺陷材料元素。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域包括所述缺陷和环绕所述缺陷的背景材料，并且其中确定所述缺陷材料元素的步骤包括确定所述背景材料的背景材料元素。

6.根据权利要求5所述的方法，其中确定所述缺陷材料元素的步骤包括基于所述背景材料元素来确定所述缺陷材料元素。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述背景材料元素具有属于背景原子量类别的原子量，并且其中确定所述缺陷材料元素的步骤包括：基于(a)所述背景材料的一个或多个BSE图像像素的强度参数和(b)所述缺陷的一个或多个BSE图像像素的强度参数之间的关系来确定所述缺陷材料元素的原子量类别。

8.根据权利要求7所述的方法，其中确定所述缺陷材料元素的步骤包括将所述缺陷材料元素的所述原子量类别分类为以下中的类别：(a)比所述背景材料轻类别；(b)所述背景原子量类别；以及(d)比所述背景材料重类别中的至少一个类别。

9.一种确定缺陷的缺陷材料元素的方法，所述方法包括以下步骤：

通过带电粒子束系统并通过应用光谱工艺来获取所述缺陷的一部分的电磁发射光谱；

通过所述带电粒子束系统获取包括所述缺陷的区域的背散射电子(BSE)图像；和

通过确定在所述电磁发射光谱中是否存在模糊性并响应于确定存在所述模糊性而基于所述BSE图像来解析所述模糊性，确定所述缺陷材料元素，其中所述模糊性指示所述电磁发射光谱中的峰之间的能量差小于所述光谱工艺的分辨率的情况；

其中所述区域包括所述缺陷和环绕所述缺陷的背景材料，并且其中所述方法包括确定所述背景材料的背景材料元素；并且

其中所述背景材料是硅，其中所述确定缺陷材料元素的步骤包括将所述缺陷材料元素分类为以下中的类别：(a)元素周期表的第二周期；(b)所述元素周期表的第三周期；(c)所述元素周期表的第四周期；和(d)所述元素周期表的第六周期。

10.根据权利要求9所述的方法，其中获取所述BSE图像的步骤包括：确定在所述电磁发射光谱中是否存在所述模糊性；和响应于在所述电磁发射光谱中存在所述模糊性而获取所述BSE图像。