[发明专利]一种MOCVD反应系统

权利要求书

1.一种 MOCVD 反应系统，包括：

MOCVD 反应腔室，

布置于所述 MOCVD 反应腔室内的加热板（2），以及

布置于所述加热板上方的喷淋器（1）；

所述喷淋器（1）具有朝向所述加热板方向喷射金属有机源气体的喷淋孔；

其特征在于，所述喷淋器（1）上固定连接有分别挡在所述喷淋孔左、右两侧的两块挡板（3）；

所述挡板（3）由固定连接的第一板体（301）和第二板体（302）构成，所述第一板体（301）是由一体连接的第一水平板面（301a）和第一竖直板面（301b）构成的 L 型板体，并且所述第一水平板面（301a）位于所述第一竖直板面（301b）的顶部，所述第二板体（302）是由一体连接的第二水平板面（302a）和第二竖直板面（302b）构成的 L 型板体，并且所述第二水平板面（302a）位于所述第二竖直板面（302b）的底部，所述第一水平板面（301a）与所述喷淋器（1）贴靠布置且二者通过第一螺丝紧固连接，所述第一竖直板面（301b）与所述第二竖直板面（302b）贴靠布置且二者通过第二螺丝紧固连接，所述第二水平板面（302a）处于所述第二竖直板面（302b）背离所述喷淋孔的那一侧；

所述第一板体（301）相对于喷淋器（1）在左右方向的水平位置可调；

所述第一板体（301）与第二板体（302）在竖直方向的连接位置可调，从而使得挡板（3）的高度尺寸可调，进而使得挡板（3）底部与下方加热板（2）的间距可调；

所述第一水平板面（301a）上开设有两条左右延伸的长条豁口（301a-1），这两条长条豁口（301a-1）一前一后平行间隔布置，所述第一螺丝设有至少两个，并且各个所述第一螺丝分别锁入对应的所述长条豁口（301a-1）和所述喷淋器（1）上的螺丝孔，从而将所述第一水平板面（301a）与所述喷淋器（1）紧固连接；

所述第一竖直板面（301b）上贯通开设有两条竖直延伸的第一长条孔（301b-1），这两条第一长条孔（301b-1）一前一后平行间隔布置，所述第二竖直板面（302b）上贯通开设有两条竖直延伸的第二长条孔（302b-1），这两条第二长条孔（302b-1）一前一后平行间隔布置，所述第二螺丝设有至少两个，并且各个所述第二螺丝分别锁入对应的所述第一长条孔（301b-1）和所述第二长条孔（302b-1），从而将所述第一竖直板面（301b）和所述第二竖直板面（302b）紧固连接。

2.根据权利要求 1所述的 MOCVD 反应系统，其特征在于，所述两块挡板（3）对称布置。

3.根据权利要求 1所述的 MOCVD 反应系统，其特征在于，所述第一水平板面（301a）、所述第一竖直板面（301b）、所述第二水平板面（302a）和所述第二竖直板面（302b）均为矩形结构，并且所述第一水平板面（301a）和所述第二水平板面（302a）在前后方向的长度尺寸均为 700mm，在左右方向的宽度尺寸均为 80mm；所述第一竖直板面（301b）和所述第二竖直板面（302b）在前后方向的长度尺寸均为 700mm，在竖直方向的高度尺寸均为 60mm。

4.根据权利要求 3所述的 MOCVD 反应系统，其特征在于，所述长条豁口（301a-1）的宽度为 12mm，长度为 50mm；所述第一长条孔（301b-1）和所述第二长条孔（302b-1）的宽度为8mm，长度为 40mm。

5.根据权利要求 3所述的 MOCVD 反应系统，其特征在于，所述第一水平板面（301a）、所述第一竖直板面（301b）和所述第二竖直板面（302b）均分别具有在长度方向两对立侧的前侧边和后侧边，两条所述长条豁口（301a-1）分别距离所述第一水平板面（301a）的前侧边和后侧边 100mm，两条所述第一长条孔（301b-1）分别距离所述第一竖直板面（301b）的前侧边和后侧边 70mm，两条所述第二长条孔（302b-1）分别距离所述第二竖直板面（302b）的前侧边和后侧边 70mm。

6.根据权利要求 3所述的 MOCVD 反应系统，其特征在于，所述加热板（2）为弧形板。