[发明专利]一种MEMS线性静电驱动技术

权利要求书

1.一种MEMS线性静电驱动技术，其特征在于：

所述MEMS线性静电驱动技术基于一个MEMS线性静电驱动系统实现，所述系统主要包括梳齿结构部分Ⅰ和驱动电路部分Ⅱ；

所述梳齿结构部分Ⅰ由居中可动梳齿部分和两侧的固定梳齿组组成；所述居中可动梳齿部分主要包括中支撑体(5)、左可动梳齿(4)、右可动梳齿(8)、弹性梁(6)和中锚点(7)，所述中支撑体(5)两侧对称分布左可动梳齿(4)和右可动梳齿(8)，所述中支撑体(5)通过弹性梁(6)固定于中锚点(7)上；左侧固定梳齿组主要包括左固定梳齿(3)、左支撑体(2)和左锚点(1)，所述左固定梳齿(3)通过左支撑体(2)固定于左锚点(1)上；右侧固定梳齿组主要包括右固定梳齿(9)、右支撑体(11)和右锚点(10)，所述右固定梳齿(9)通过右支撑体(11)固定于右锚点(10)上；所述左侧固定梳齿组的左固定梳齿(3)和右侧固定梳齿组的右固定梳齿(9)分别与居中可动梳齿部分的左可动梳齿(4)和右可动梳齿(8)形成梳齿对；

所述驱动电路部分Ⅱ由分压电路(12)、恒压源(13)和控制器(14)组成；所述恒压源(13)接入分压电路(12)后，输出第一驱动电压V₁和第二驱动电压V₂两路电压，所述第一驱动电压V₁和第二驱动电压V₂大小可通过控制器(14)调节，满足关系V₁+V₂≡V_c；V_c由分压电路(12)和恒压源(13)决定，其电压值恒定不变；所述第一驱动电压V₁和第二驱动电压V₂分别接入左侧固定梳齿组的左锚点(1)和右侧固定梳齿组的右锚点(10)；居中可动梳齿部分的中锚点(7)接入零电势V₀。

2.一种如权利要求1所述的MEMS线性静电驱动技术，其特征在于：所述的梳齿结构部分Ⅰ采用弧形梳齿结构。

3.一种如权利要求1所述的MEMS线性静电驱动技术，其特征在于：所述的梳齿结构部分Ⅰ采用直型梳齿结构。