[发明专利]一种振动隔离装置

权利要求书

1.一种振动隔离装置，包括：真空腔体(1)、所述真空腔体(1)内设有主基板(2)，所述真空腔体(1)的一内壁与所述主基板(2)之间设有至少一个隔振系统(3)；

所述隔振系统(3)包括：永磁体(31)、设置有线圈(32)的线圈架(33)、主弹簧(34)、隔板(35)以及隔板弹簧(36)；

所述永磁体(31)的一端连接所述主基板(2)，所述线圈架(33)一端固定在所述隔板(35)上，所述永磁体(31)的部分或全部置于所述线圈架(33)内部，所述线圈架(33)与所述永磁体(31)之间的相对位置可调；

所述主基板(2)、所述主弹簧(34)、所述隔板(35)、所述隔板弹簧(36)以及所述真空腔体(1)依次连接；

其中，所述线圈架(33)为金属线圈架；所述隔板(35)靠近所述隔板弹簧(36)的一侧表面设置冷板；或者所述隔板(35)内部与所述线圈架(33)具有一连接通道，所述连接通道内设置有散热管道；所述隔板(35)设置有螺纹孔，所述隔振系统(3)还包括：螺纹杆(37)以及电机(38)；所述螺纹杆(37)的尺寸与所述螺纹孔的尺寸对应，且能够穿过所述螺纹孔；

所述隔板(35)、所述螺纹杆(37)、所述电机(38)以及所述真空腔体(1)依次连接。

2.根据权利要求1所述的隔离装置，其中，所述永磁体(31)为空心柱体结构，所述主弹簧(34)设置于所述永磁体(31)内部且与所述永磁体(31)内壁保持一预设距离。

3.根据权利要求1所述的隔离装置，其中，所述永磁体(31)为实心柱体结构，所述主弹簧(34)设置于所述设置有线圈(32)的线圈架(33)之外。

4.根据权利要求1所述的隔离装置，其中，所述线圈架(33)与所述永磁体(31)之间的相对位置可调，包括：

通过所述隔板弹簧(36)调节所述隔板(35)的高度，改变所述线圈架(33)的高度，进而改变所述永磁体(31)置入所述线圈架(33)的体积。

5.根据权利要求1所述的隔离装置，其中，所述真空腔体(1)上固定有至少一个的圆长杆，所述隔板(35)上设置有至少一个的通孔，所述圆长杆穿过所述通孔。

6.根据权利要求1所述的隔离装置，其中，所述主基板(2)以及所述真空腔体(1)上设置有振动传感器。

7.根据权利要求1所述的隔离装置，其中，所述线圈架(33)的另一端不与所述主基板(2)接触。