[发明专利]掩膜版的张网设备和张网方法

权利要求书

1.一种掩膜版的张网设备，其特征在于，包括移动机构和框架夹具；

所述移动机构包括移动单元和支撑单元，所述移动单元与所述支撑单元连接，所述框架夹具固定于所述移动单元上，所述框架夹具用于夹持掩膜版框架上相对设置的夹持区域，所述移动机构用于驱动所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架上的推力，以使所述掩膜版框架产生预设形变；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向为固定于所述掩膜版框架上的掩膜条的长度方向。

2.根据权利要求1所述的掩膜版的张网设备，其特征在于，所述框架夹具为至少三对，每对所述框架夹具分别相对设置于所述掩膜版框架的两侧；

沿第二方向，所述掩膜版框架同一侧的所述框架夹具依次排布，并且关于所述掩膜版框架上的中线对称，其中，所述第二方向为所述掩膜版框架上掩膜条的宽度方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述中线与所述第一方向平行。

3.根据权利要求2所述的掩膜版的张网设备，其特征在于，在所述掩膜版框架的同一侧的各所述框架夹具等间距排布。

4.根据权利要求2所述的掩膜版的张网设备，其特征在于，沿所述第二方向，从所述中线向所述掩膜版框架的两侧，所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架上的推力依次减小。

5.根据权利要求1所述的掩膜版的张网设备，其特征在于，所述框架夹具包括相对设置的第一夹件和第二夹件；所述第一夹件的一端和所述第二夹件的一端均固定在所述移动单元上，所述第一夹件的另一端和所述第二夹件的另一端在远离所述移动单元的一侧形成开口。

6.根据权利要求1所述的掩膜版的张网设备，其特征在于，所述掩膜版框架包括平行设置的第一边框和第二边框；所述第一边框和所述第二边框包括相对设置的至少一对夹持区域；同一对所述夹持区域，其中一个所述夹持区域位于所述第一边框的侧面，另一个所述夹持区域位于所述第二边框的侧面；其中，所述第一边框的侧面和所述第二边框的侧面与所述第一方向垂直。

7.根据权利要求1所述的掩膜版的张网设备，其特征在于，所述移动单元包括导轨，所述支撑单元包括支撑柱。

8.一种掩膜版的张网方法，其特征在于，包括：

将掩膜版框架设置于张网设备，所述张网设备包括移动机构和框架夹具，所述框架夹具夹持所述掩膜版框架上相对设置的夹持区域；

控制所述移动机构驱动所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架的推力，以使所述掩膜版框架产生预设形变，并保持所述预设形变不变；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向为固定于所述掩膜版框架上的掩膜条的长度方向；

在所述掩膜版框架上张网各掩膜条；所述掩膜条上的拉力与所述推力大小匹配，方向相反；

控制所述移动机构驱动所述框架夹具释放作用于所述掩膜版框架的推力。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，沿第二方向，从所述掩膜版框架的中线向所述掩膜版框架的两侧，所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架上的推力依次减小，其中，所述第二方向为所述掩膜版框架上的掩膜条的宽度方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述中线与所述第一方向平行。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在所述掩膜版框架上张网各掩膜条，包括：

依次在所述掩膜版框架的预设位置处张网各掩膜条。