[发明专利]新型材料制作的布拉格反射镜在审
| 申请号： | 201911190680.7 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111025442A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 刘建辉;王天鹤;刘舒扬;贾晓东 | 申请（专利权）人： | 天津津航技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 周恒 |
| 地址： | 300308 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型材料 制作 布拉格 反射 | ||
1.一种新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述布拉格反射镜中包括上反射层和下反射层；所述上反射层和下反射层之间设置有通光层；
所述上反射层采用多层高反射率物质和多层低反射率物质交替制备，形成反射率差大的布拉格反射镜，多次相互交叠。
2.如权利要求1所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述布拉格反射镜的反射率达到99％以上。
3.如权利要求1所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述高反射率物质为Si3N4。
4.如权利要求3所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述低反射率物质为SiO2。
5.如权利要求4所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述布拉格反射镜中，所述下反射层具有和上反射层相同的结构和材料，位置在通光层与感光像素之间，同样具有高反效果。
6.如权利要求5所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述通光层材料是由SiO2材料制备。
7.如权利要求6所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述通光层厚度变化为台阶式生长。
8.如权利要求6所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述通光层厚度变化为由MOEMS电致驱动。
9.如权利要求5所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述感光像素为图像传感器。
10.如权利要求5所述的新型材料制作的布拉格反射镜，其特征在于，所述多层高反射率物质的厚度均相等；
所述多层低反射率物质的厚度均相等。
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