[发明专利]一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法

说明书

本发明公开了一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法，所述除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，所述加热装置包括热丝和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管，所述热丝缠绕于多晶氧化铝陶瓷管上，所述热丝与加热电源电极相连；所述保温装置包括第一氧化铝管和第二氧化铝管；所述第一氧化铝管嵌套在第二氧化铝管外，将所述绕有热丝的多晶氧化铝陶瓷管放于第二氧化铝管内，并提供行波管用氮化硼夹持杆除气方法，本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，设计合理，结构简单，操作方便，除气效率高，改善行波管螺流的稳定性，保证了行波管的性能和寿命。

技术领域

本发明涉及一种除气装置及方法，尤其涉及一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法，属于真空电子器件领域。

背景技术

近年来，随着行波管的发展，对真空环境提出了更高的要求，尤其是管内的真空质量会直接影响到器件的性能和寿命。而管内真空度所能达到的极限值和稳定程度，除了取决于真空设备，主要还和行波管的材料有关，故对行波管材料提出了更高的要求。目前在行波管材料方面，很难完全依靠改善真空材料的性能来提高真空质量。但可以通过对材料的前期处理或表面处理，以满足行波管高真空质量的要求。

在螺旋线行波管中，夹持杆的主要作用是对螺旋线起支持撑作用，并将管内的热量传递到管外。为保证螺旋线行波管内的高品质真空，夹持杆必须具备相当的气密性和表面洁净性。对于氮化硼材质的夹持杆，在经过研磨、清洗以及渗碳等过程的处理后，表面会存在处理过程中引入的杂质，并且会吸附空气中的气体、水汽、浮尘等。

发明内容

发明目的：本发明的第一目的旨在提供一种除气效率高、操作方便的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，本发明的第二目的旨在提供行波管用氮化硼夹持杆除气方法。

技术方案：本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，加热装置包括热丝和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管，热丝缠绕于多晶氧化铝陶瓷管上，热丝与加热电源电极相连；保温装置包括第一氧化铝管和第二氧化铝管；第一氧化铝管嵌套在第二氧化铝管外，将绕有热丝的多晶氧化铝陶瓷管放于第二氧化铝管内。

进一步地，加热装置配有钨铼热电偶，工作时将热电偶置于多晶氧化铝陶瓷管内。

进一步地，加热装置配有温控表，温控表与钨铼热电偶相连。

进一步地，热丝由钼丝制成。

进一步地，热丝与加热电源电极相连。

本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气方法，利用行波管用氮化硼夹持杆除气装置，包括以下步骤：

步骤一，将热丝缠绕于多晶氧化铝陶瓷管上，并放入氮化硼夹持杆；

步骤二，将第一氧化铝管和第二氧化铝管相互嵌套上，并将绕有热丝的多晶氧化铝陶瓷管置于第二氧化铝管内；

步骤三，将热丝两端连接在加热电源电极上；

步骤四，抽真空，当真空度达到8.0×10^-4Pa～1×10^-3Pa时，打开加热电源，加热至700℃～1300℃；

步骤五，抽真空冷却至室温。

进一步地，加热过程的真空度保持在4.0×10^-4Pa～2×10^-3Pa范围内。

有益效果：与现有技术相比，本发明具有如下显著优点：

本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，设计合理，结构简单，操作方便，除气效率高；在装行波管之前对氮化硼夹持杆进行真空加热，去除氮化硼表面的氧化层、附着物以及吸附的气体等，改善行波管螺流的稳定性，保证了行波管的性能和寿命；该除气装置所获得的氮化硼夹持杆，表面洁净，无蹦边缺角等缺陷。

附图说明