[发明专利]一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法

权利要求书

1.一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，所述加热装置包括热丝(1)和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管(2)，所述热丝(1)缠绕于多晶氧化铝陶瓷管(2)上，所述热丝(1)与加热电源电极相连；所述保温装置包括第一氧化铝管(3)和第二氧化铝管(4)；所述第一氧化铝管(3)嵌套在第二氧化铝管(4)外，将所述绕有热丝(1)的多晶氧化铝陶瓷管(2)放于第二氧化铝管(4)内。

2.根据权利要求1所述的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述加热装置配有钨铼热电偶，工作时将所述热电偶置于多晶氧化铝陶瓷管(2)内。

3.根据权利要求2所述的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述加热装置配有温控表，温控表与钨铼热电偶相连。

4.根据权利要求1所述的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述热丝(1)由钼丝制成。

5.一种行波管用氮化硼夹持杆除气方法，其特征在于，利用权利要求1所述行波管用氮化硼夹持杆除气装置，包括以下步骤：

步骤一，将热丝(1)缠绕于多晶氧化铝陶瓷管(2)上，并放入氮化硼夹持杆；

步骤二，将第一氧化铝管(3)和第二氧化铝管(4)相互嵌套上，并将绕有热丝(1)的多晶氧化铝陶瓷管(2)置于第二氧化铝管(4)内；

步骤三，将热丝(1)两端连接在加热电源电极上；

步骤四，抽真空，当真空度达到8.0×10^-4Pa～1×10^-3Pa时，打开加热电源，加热至700℃～1300℃；

步骤五，抽真空冷却至室温。

6.根据权利要求5所述的行波管用氮化硼夹持杆除气方法，其特征在于：所述步骤四的加热过程的真空度保持在4.0×10^-4Pa～2×10^-3Pa范围内。