[发明专利]缺陷检测方法和装置、存储介质

说明书

本发明公开一种缺陷检测方法和装置、存储介质。该方法通过获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像；获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息；根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定第i个灰度图像中缺陷的缺陷类型；根据第1个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型至第N个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型，得到待测电子器件的缺陷汇总结果。根据本发明实施例，能够提高缺陷类型判断的准确性。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种缺陷检测方法和装置、存储介质。

背景技术

在对阵列基板进行缺陷检测时，需要对检测到的缺陷的缺陷类型进行准确的判断，通常会用到自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)设备。目前，AOI设备利用多种光源进行缺陷检测时，采用的是单一光源下的阵列基板中各线路的位置信息，导致无法对检测到的缺陷进行准确的缺陷类型的判断。

因此，如何提高缺陷类型判断的准确性是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

为了解决现有技术中的技术问题，本发明实施例提供了一种缺陷检测方法和装置、存储介质，旨在提高缺陷类型判断的准确性。

第一方面，本发明实施例提供一种缺陷检测方法，该缺陷检测方法包括：

获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像，其中，第i种光源下形成第i个灰度图像，N为大于等于2的整数，i为正整数，i≦N；

获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息；

根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定第i个灰度图像中缺陷的缺陷类型；

根据第1个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型至第N个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型，得到待测电子器件的缺陷汇总结果。

在第一方面的一种可能的实施方式中，获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息，包括：

设置第i个灰度图像的灰阶值参考范围，识别第i个灰度图像中不在灰阶值参考范围内的像素信息；

将不在灰阶值参考范围内的像素信息，作为缺陷在第i个灰度图像中占用的像素信息；

根据缺陷在第i个灰度图像中占用的像素信息，得到缺陷在第i个灰度图像中的第i个缺陷位置信息。

在第一方面的一种可能的实施方式中，根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定第i个灰度图像中缺陷的缺陷类型，包括：

获取第i个灰度图像的各线路的线路位置信息，并获取所述第i个灰度图像中缺陷的灰阶值信息；

根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息与第i个缺陷位置信息的位置关系及缺陷的灰阶值信息，确定第i个灰度图像中缺陷的缺陷类型。

在第一方面的一种可能的实施方式中，方法还包括：

获取待测电子器件的各线路在第i个灰度图像中占用的像素信息；

根据各线路在第i个灰度图像中占用的像素信息，设置各线路在第i个灰度图像中的线路位置信息。

在第一方面的一种可能的实施方式中，方法还包括：

预先设置位置关系、缺陷的灰阶值信息、缺陷类型三者之间的对应关系。

在第一方面的一种可能的实施方式中，第i个缺陷位置信息与各线路中的第一线路及第二线路的线路位置信息的位置关系均为相交关系，且第i个缺陷位置信息内的像素灰阶值属于第一预设范围，则对应的缺陷类型为短路；

和/或，