[发明专利]一种电容器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911152619.3 申请日: 2019-11-20
公开(公告)号: CN112825286A 公开(公告)日: 2021-05-21
发明(设计)人: 娄正;沈国震;冉文浩;赵淑芳;王得鹏;尹瑞阳 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01G4/224 分类号: H01G4/224;H01G4/33;H01G13/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 电容器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种电容器,包括:

衬底(1),其上形成有第一电极(2)、第二电极(3)及薄膜(4);

所述薄膜(4)包括两部分薄膜,分别与所述第一电极(2)及所述第二电极(3)连接,所述两部分薄膜形成一对叉指电极(5),所述一对叉指电极(5)之间填充有电解液(6),所述电解液(6)与所述衬底(1)接触。

2.根据权利要求1所述的电容器,其中,所述叉指电极(5)之间的距离范围不超过0.2mm。

3.根据权利要求1所述的电容器,其中,所述薄膜(4)为石墨烯薄膜。

4.根据权利要求1所述的电容器,其中,所述衬底(1)为可弯曲的柔性衬底。

5.根据权利要求1所述的电容器,其中,所述第一电极(2)、所述第二电极(3)为柔性可拉伸电极,所述柔性可拉伸电极为银纳米线、碳管以及石墨烯中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的电容器,其中,所述电解液(6)为氯酸锂溶液。

7.一种器件,所述器件包括多个权利要求1-6任一项所述的电容器,多个电容器之间通过所述第一电极(2)与所述第二电极(3)相互连接。

8.一种电容器的制备方法,包括:

S1,在衬底(1)上制备薄膜(4),在所述薄膜(4)上制备叉指电极(5);

S2,在所述叉指电极(5)之间填充电解液(6),封装所述薄膜(4);

S3,在所述薄膜(4)相对的两边缘处制备第一电极(2)以及第二电极(3),得到所述电容器。

9.根据权利要求8所述的方法,其中,步骤S1中,所述在衬底(1)制备薄膜(4)包括:

将聚偏氟乙烯、石墨烯与N,N-二甲基甲酰胺的混合溶液旋涂在衬底(6)上,加热后形成所述薄膜(4)。

10.根据权利要求8所述的方法,其中,步骤S3中,所述在所述薄膜(4)相对的两边缘处制备第一电极(2)以及第二电极(3)包括:

将柔性可拉伸材料加入到苯乙烯、甲苯以及异戊二烯组成的三嵌段共聚物的混合溶液后,旋涂于所述薄膜(4)相对的两边缘。

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