[发明专利]一种同步器信号处理模块制作工艺在审
申请号: | 201911151808.9 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN110854030A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 汪宁;孟庆贤;张丽;张庆燕;方航;聂庆燕;奚凤鸣 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H05K3/32 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 方文倩 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 同步器 信号 处理 模块 制作 工艺 | ||
1.一种同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:制作过程主要包括:步骤1)LTCC基板清洗、烘干;步骤2)自动贴片机进行裸芯片贴装;步骤3)阻容器件贴装;步骤4)自动键合机进行裸芯片金丝键合;步骤5)LTCC基板与壳体粘接;步骤6)手动键合机进行壳体管柱金丝键合;步骤7)平行缝焊;步骤8)气密性检测。
2.按照权利要求1所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤1)中,将LTCC基板放置在盛有无水乙醇的烧杯中,浸泡10分钟,然后用软毛刷刷洗基板表面;将刷洗过的基板放置在温度为60℃的烘箱中,烘烤5分钟,使基板表面的无水乙醇快速烘干。
3.按照权利要求1所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤2)中,采用自动贴片机进行裸芯片贴装,根据所需要贴片的三种裸芯片尺寸大小,选择合适蘸胶头,设置自动贴片蘸胶台蘸胶刻度、吸嘴吸取裸芯片力度、吸嘴放置裸芯片下降高度关键参数。
4.按照权利要求2所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤2)中,蘸胶头自动蘸取2mm刻度导电胶均匀的布满在LTCC基板待贴装裸芯片焊盘处,然后通过吸嘴30mil刻度吸力自动吸取裸芯片,吸嘴放置芯片下降高度0.5mil刻度,轻轻放置在相应LTCC基板焊盘处,使裸芯片四边溢胶状态均匀适量;然后放置在精密烘箱中,烘烤40±5分钟,进行导电胶固化,使裸芯片牢固粘接在LTCC基板上,得到组件A。
5.按照权利要求4所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤3)中,用气动点胶机将导电胶点涂在组件A待贴装阻容器件焊盘上;用气动点胶机将绝缘红胶点涂在组件A待贴装阻容器件焊盘之间;用镊子夹取电容C1~C10和电阻R12、R17、R22贴装在相应焊盘上;放置在精密烘箱中,烘烤30±5分钟;用气动点胶机在阻容器件电极两端补导电胶,使导电胶高度至少达到电极高度的1/2即可;然后放置在精密烘箱中,烘烤60±5分钟,进行导电胶固化,使阻容器件粘接在组件A上,得到组件B。
6.按照权利要求5所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤4)中,采用自动键合机进行裸芯片的金丝键合,选用直径为25.4μm金丝,金丝键合工艺实施时,将组件B放置在温度为100±5℃键合平台上进行键合;设置自动键合机的键合参数:金丝变形量:40%;芯片到基板的焊接压力第一点和第二点分别为12cN、16cN,键合时间第一点和第二点分别为5ms、50ms,尾丝长度:85μm,弧高:375μm;运行键合程序,对裸芯片进行自动键合,实现裸芯片与LTCC基板电气互联,得到组件C。
7.按照权利要求6所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤5)中,用气动点胶机将适量黑胶注入在管壳内两排接线柱中间区域,将注入的胶体在涂胶区域里涂覆均匀,静置(10~20)分钟,让胶体自流延,使其更加均匀的覆盖在涂覆区域内;利用镊子夹取组件C放进管壳黑胶上,并适当摩擦,使黑胶更好将组件C与可伐镀金管壳粘接致密,利用镊子在LTCC基板无布线区域下压LTCC基板,此时,黑胶受压外溢,外溢的量刚好达到基板外围半壁高度为适量;然后放置在温度为150℃精密烘箱中,烘烤60±5分钟,进行黑胶固化,使LTCC基板粘接在壳体上,得到组件D。
8.按照权利要求7所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤6)中,采用手动金丝楔压焊机进行壳体管柱到LTCC基板金丝键合,工艺实施时,先将组件D放置在温度为100±5℃键合热台上,进行壳体管柱到LTCC基板金丝键合。
9.按照权利要求8所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤7)中,采用平行缝焊机,将产品放置在温度为125±5℃真空烘箱中,烘烤24小时,以去除产品内的湿气及挥发性材料的放气;设置平行缝焊参数:脉冲电流:0.4~0.5KA;脉冲宽度:2~3ms;滚轮缝焊速度:0~1inch/s;滚轮压力:1200~1400g;缝焊参数设置完成后,对烘烤后的产品进行平行缝焊,使盖板与壳体四边完整吻合,熔融结合,形成气密性封盖。
10.按照权利要求9所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤8)中,对平行缝焊后的产品进行气密性检测,将产品放置在压力为310±15KPa加压仓内加压5小时,加压时间到后取出,用氦质谱检漏仪检测产品的漏率,漏率要求小于5.0×10-3(Pa·cm3)/s。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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