[发明专利]一种同步器信号处理模块制作工艺在审

专利信息
申请号: 201911151808.9 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN110854030A 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 汪宁;孟庆贤;张丽;张庆燕;方航;聂庆燕;奚凤鸣 申请(专利权)人: 安徽华东光电技术研究所有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H05K3/32
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 方文倩
地址: 241000 安徽省芜湖*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 同步器 信号 处理 模块 制作 工艺
【权利要求书】:

1.一种同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:制作过程主要包括:步骤1)LTCC基板清洗、烘干;步骤2)自动贴片机进行裸芯片贴装;步骤3)阻容器件贴装;步骤4)自动键合机进行裸芯片金丝键合;步骤5)LTCC基板与壳体粘接;步骤6)手动键合机进行壳体管柱金丝键合;步骤7)平行缝焊;步骤8)气密性检测。

2.按照权利要求1所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤1)中,将LTCC基板放置在盛有无水乙醇的烧杯中,浸泡10分钟,然后用软毛刷刷洗基板表面;将刷洗过的基板放置在温度为60℃的烘箱中,烘烤5分钟,使基板表面的无水乙醇快速烘干。

3.按照权利要求1所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤2)中,采用自动贴片机进行裸芯片贴装,根据所需要贴片的三种裸芯片尺寸大小,选择合适蘸胶头,设置自动贴片蘸胶台蘸胶刻度、吸嘴吸取裸芯片力度、吸嘴放置裸芯片下降高度关键参数。

4.按照权利要求2所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤2)中,蘸胶头自动蘸取2mm刻度导电胶均匀的布满在LTCC基板待贴装裸芯片焊盘处,然后通过吸嘴30mil刻度吸力自动吸取裸芯片,吸嘴放置芯片下降高度0.5mil刻度,轻轻放置在相应LTCC基板焊盘处,使裸芯片四边溢胶状态均匀适量;然后放置在精密烘箱中,烘烤40±5分钟,进行导电胶固化,使裸芯片牢固粘接在LTCC基板上,得到组件A。

5.按照权利要求4所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤3)中,用气动点胶机将导电胶点涂在组件A待贴装阻容器件焊盘上;用气动点胶机将绝缘红胶点涂在组件A待贴装阻容器件焊盘之间;用镊子夹取电容C1~C10和电阻R12、R17、R22贴装在相应焊盘上;放置在精密烘箱中,烘烤30±5分钟;用气动点胶机在阻容器件电极两端补导电胶,使导电胶高度至少达到电极高度的1/2即可;然后放置在精密烘箱中,烘烤60±5分钟,进行导电胶固化,使阻容器件粘接在组件A上,得到组件B。

6.按照权利要求5所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤4)中,采用自动键合机进行裸芯片的金丝键合,选用直径为25.4μm金丝,金丝键合工艺实施时,将组件B放置在温度为100±5℃键合平台上进行键合;设置自动键合机的键合参数:金丝变形量:40%;芯片到基板的焊接压力第一点和第二点分别为12cN、16cN,键合时间第一点和第二点分别为5ms、50ms,尾丝长度:85μm,弧高:375μm;运行键合程序,对裸芯片进行自动键合,实现裸芯片与LTCC基板电气互联,得到组件C。

7.按照权利要求6所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤5)中,用气动点胶机将适量黑胶注入在管壳内两排接线柱中间区域,将注入的胶体在涂胶区域里涂覆均匀,静置(10~20)分钟,让胶体自流延,使其更加均匀的覆盖在涂覆区域内;利用镊子夹取组件C放进管壳黑胶上,并适当摩擦,使黑胶更好将组件C与可伐镀金管壳粘接致密,利用镊子在LTCC基板无布线区域下压LTCC基板,此时,黑胶受压外溢,外溢的量刚好达到基板外围半壁高度为适量;然后放置在温度为150℃精密烘箱中,烘烤60±5分钟,进行黑胶固化,使LTCC基板粘接在壳体上,得到组件D。

8.按照权利要求7所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤6)中,采用手动金丝楔压焊机进行壳体管柱到LTCC基板金丝键合,工艺实施时,先将组件D放置在温度为100±5℃键合热台上,进行壳体管柱到LTCC基板金丝键合。

9.按照权利要求8所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤7)中,采用平行缝焊机,将产品放置在温度为125±5℃真空烘箱中,烘烤24小时,以去除产品内的湿气及挥发性材料的放气;设置平行缝焊参数:脉冲电流:0.4~0.5KA;脉冲宽度:2~3ms;滚轮缝焊速度:0~1inch/s;滚轮压力:1200~1400g;缝焊参数设置完成后,对烘烤后的产品进行平行缝焊,使盖板与壳体四边完整吻合,熔融结合,形成气密性封盖。

10.按照权利要求9所述的同步器信号处理模块制作工艺,其特征在于:步骤8)中,对平行缝焊后的产品进行气密性检测,将产品放置在压力为310±15KPa加压仓内加压5小时,加压时间到后取出,用氦质谱检漏仪检测产品的漏率,漏率要求小于5.0×10-3(Pa·cm3)/s。

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