[发明专利]离子束照射装置和存储离子束照射装置用程序的存储介质

说明书

本发明提供离子束照射装置和存储有离子束照射装置用程序的存储介质。能够自动确定基本运转参数的适当的初始值。离子束照射装置(100)由多个模块(M)生成满足处理条件的离子束并向被处理物(W)照射，该离子束照射装置(100)包括：机器学习部(92)，生成将新的处理时的处理条件和监测值至少作为说明变量的学习算法，该监测值表示该新的处理的上一次处理中的至少一个模块(M)的状态；以及基本运转参数输出部(94)，使用学习算法输出控制模块(M)的动作的基本运转参数的初始值。

技术领域

本发明涉及离子束照射装置和存储有离子束照射装置用程序的存储介质。

背景技术

如专利文献1所示，离子注入装置包括离子源、质量分离磁铁等用于生成离子束的多个模块，这些模块基于预先设定的各种基本运转参数而动作。

具体地说，如果控制各模块的控制装置接收到被称为方案的处理条件，则首先向各模块输入基本运转参数的初始值。并且，控制装置通过调整基本运转参数的初始值来设置各模块，以便边检测与生成的离子束相关的各种信息边生成符合方案的离子束。

作为该基本运转参数的初始值，以往输入根据方案预先存储的值或相同方案的过去处理时使用的值。

但是，如果在新的处理时与在此以前的处理时各模块的状态(消耗状态和维护状态)不同，则即使方案相同且作为初始值输入了相同的值，有时也会使到取得调整值所花费的设置时间变长，或者使束电流量、束角度、束电流密度等这样的离子束的质产生变化。

专利文献1：日本专利公开公报特开2007-35370号

发明内容

因此，为了解决上述问题，本发明的目的主要在于能够适当地确定符合当前模块状态的基本运转参数的初始值，例如设置时间变短的初始值、能够生成所希望的离子束的初始值等。

即，本发明的离子束照射装置由多个模块生成满足处理条件的离子束并向被处理物照射，所述离子束照射装置包括：机器学习部，生成将新的处理时的处理条件和监测值至少作为说明变量的学习算法，所述监测值表示所述新的处理的上一次处理中的至少一个所述模块的状态；以及基本运转参数输出部，利用所述学习算法输出控制所述模块的动作的基本运转参数的初始值。

按照以上述方式构成的离子束照射装置，生成将表示各处理的上一次处理(以下也称为前处理)中的模块状态的监测值作为说明变量的学习算法，因而利用该学习算法输出的基本运转参数的初始值考虑了进入新的处理前的模块的状态。因此，通过利用该学习算法，能够适当地确定符合当前模块状态的基本运转参数的初始值，例如设置时间变短的初始值、能够生成所希望的离子束的初始值等。

作为更具体的实施方式，在向所述多个模块输入所述初始值、所述各模块基于调整所述初始值而得到的调整值进行动作的装置结构中，还包括学习数据存储部，所述学习数据存储部存储包含多组数据集的学习数据，所述学习数据是从过去的多个处理得到的学习数据，所述数据集使各处理的处理条件、各处理的所述初始值或所述调整值的至少一方、各处理的上一次处理中的至少一个所述模块的所述监测值、以及各处理中的规定的目标变量的实际值相关联，所述机器学习部通过利用所述学习数据的机器学习来生成所述学习算法。

作为所述目标变量可以列举的是，直到得到所述调整值为止的设置时间、表示是否得到了所述调整值的指标值、所述离子束的束电流量、所述离子束的束角度或所述离子束的束电流密度。

在多个模块中，与引出电极系统模块或束线电磁场系统模块相比，离子源系统模块大多寿命短，因而与引出电极系统模块或束线电磁场系统模块相比，离子源系统模块的维护或更换的频度高。

鉴于上述情况，优选的是，在所述学习数据中至少包含离子源系统模块的所述监测值。

由此，由于即使在多个模块中，也能够考虑状态容易变化的离子源系统模块的前处理时的状态来进行机器学习，因此能够更适当地确定新的处理时的初始值。