[发明专利]一种基于激光直写的柔性线路板半加成法制备工艺在审

专利信息
申请号: 201911127273.1 申请日: 2019-11-18
公开(公告)号: CN110933858A 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 颜丙功;江开勇;宋轩;田昭;王永超 申请(专利权)人: 华侨大学
主分类号: H05K3/10 分类号: H05K3/10
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;张迪
地址: 362000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 激光 柔性 线路板 成法 制备 工艺
【权利要求书】:

1.一种基于激光直写的柔性线路板半加成法制备工艺,其特征在于包括以下步骤:

步骤1,将聚酰亚胺用无水乙醇超声清洗干净后放入55℃至65℃的恒温水浴锅中进行碱处理即进行表面处理,用时10至20min,烘干备用;

步骤2,将有机铜盐溶解于烷基胺和醇类的有机溶剂中,用磁力搅拌机搅拌均匀,得到蓝色的蜂蜜状前驱体溶液;

步骤3,将步骤2中制备得到的前驱体溶液通过旋涂的方式,涂覆在步骤1中表面处理过的聚酰亚胺表面,将旋涂后的聚酰亚胺放入干燥箱中烘干,待有机物挥发完全后,得到致密的前驱体薄膜;

步骤4,选取355nm的紫外脉冲激光器对步骤3的样品进行直写,将多余的部分用去离子水冲洗干净,在聚酰亚胺表面得到任意形状的导电图案;

步骤5,在激光直写过后的聚酰亚胺表面涂一层感光胶,光刻显影;

步骤6,将步骤5制备得到的样品进行电镀,通过电镀的方式使铜层沿感光胶的铅锤面生长,得到厚度均匀的铜层,以此制备柔性电路板。

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