[发明专利]铝掺杂石墨烯材料的制备方法有效
| 申请号: | 201911113278.9 | 申请日: | 2019-11-14 |
| 公开(公告)号: | CN110775964B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
| 发明(设计)人: | 马克如姆里;萨米乌拉赫;它光辉;杨晓琴;刘玉;施启涛;王美欧;刘玉莲;刘立军 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
| 主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186;C01B32/194 |
| 代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 王玉仙 |
| 地址: | 215168 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 掺杂 石墨 材料 制备 方法 | ||
1.一种铝掺杂石墨烯材料的制备方法,其特征在于,采用CVD法制备,包括以下步骤:
(1)在CVD系统炉体中,在真空度为低于28帕斯卡条件下,将基底置于石英管中于1000-1050℃下退火,通入混合气体,所述石英管具有封闭端和开口端;
(2)将有机铝化合物置于石英管中,在混合气体气氛中反应,反应温度为1000-1050℃,反应完全后,得到所述铝掺杂石墨烯材料;其中,所述有机铝化合物置于CVD系统炉体之外,且与距离最近的CVD系统炉体边沿的距离为9.5-10.5cm;所述有机铝化合物为乙酰丙酮铝、苯氧化铝和正丁醇铝中的一种或几种。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,所述基底的材质为铜、镍、钴、玻璃或绝缘衬底。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(1)-(2)中,所述石英管的开口端远离所述混合气体的流入方向。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,所述基底位于靠近所述石英管的开口端的一侧。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,加热时间为30-40min。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,所述石英管的底部设有呈弧形的坩埚,所述有机铝化合物置于所述坩埚中。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,所述有机铝化合物位于靠近所述石英管的封闭端的一侧。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(1)和(2)中,所述混合气体为5v%-10v%的氢气和90v%-95v%的氩气。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,反应时间为2min-10min。
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